看了激光直写系统的用户又看亅/p>
虚拟号将 180 秒后失效
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欧洲先进的无掩膜激光直写系绞/strong>?小线宽可 100nm,为MEMS BioMEMS Micro Optics ASICs Micro Fluidics Sensors CGHs等以及相关微纳米结构领域的科研工作者,提供强有力的手段?/p>
技术参数:
加工线宽?小可 100nm:/p>
主要特点9/strong>
多种曝光模式9/strong>
2D曝光模式:构建二维纳米结构;
3D曝光模式:可加工三维纳米结构:/p>
压电驱动平台配合精密自动驱动平台,具有更高的水平定位分辨率;
系统自动聚焦、纠斜、对准;
多功能试样夹具;
快速样品样品更换:<1秒;
专业图形设计软件:支持导入CAD设计软件?D?D随意简单设计;
暂无数据