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桌面型纳米印系统,优异的设计理念,专门针对大学实验室、研究所微纳米加工研究设计,配备精密的温度控制和低压控制系统,使用方便,性能稳定可靠;同时配合专业设计的压印模板,可实现各种微纳米图形加工,特征线宽小于20nm:/p>
主要特点9/p>
1.桌面型设计;
2.热压印技术;
3.UV压印技术;
3.模板整合温度控制:/p>
4.快速升温、快速降温,大大缩短热循环加工周期;
5.低压控制技术;
6.自动压入、脱模设计;
7.适用于各种微纳米加工研究?inch~4inch,其他定制):/p>
8.特征线宽小于20nm:/p>
安装要求9/p>
1.真空0.4 to 0.8 bar(实验室真空要求),流速至?mL/min:/p>
2.压缩空气或压缩氮?-10 bar:/p>
3.电源?10-240V (50-60 Hz larger than 200W):/p>
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