看了XY轴压电平台的用户又看亅/p>
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压电平台XY200M沿X和Y轴的行程?00 m?*可承?kg的负载。应用领域包括原子力或扫描隧道显微镜和掩膜定位等等。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度,可以配备精度高?0nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制。紧凑型XY25XS平台非常适合用于光纤定位,微扫描等应用、/span>
参数 | 单位 | XY25XS | XY200M |
型号 | V-XYXS25 | V-XYM200 | |
备注 | - | - | |
传感?/p> | SG | SG,ECS | |
主动轳/p> | TX,TY | TX,TY | |
**空载位移[Tx,Ty] | um | 25 | 200 |
Z方向**面外位移 | um | 0.50 | 1.00 |
Z方向?*转动 | urad | 50 | 240 |
XY方向?*转动 | urad | 10 | 50 |
电压范围 | V | -20?50 | -20?50 |
硬度 | N/um | 2.50 | 0.59 |
高度(Z ? | mm | 18.0 | 22.0 |
尺寸(X&Y ? | mm | 50*50 | 100*100 |
分辨玆/p> | nm | 0.3 | 2.0 |
质量 | g | 80 | 180 |
空载共振频率(在致动方? | Hz | 3000 | 580 |
响应时间 | ms | 0.17 | 0.86 |
电容 (每个电气接口) | uF | 0.50 | 6.30 |
机械接口(有效负载) | 117mm hole+41.8mm on20mm | 32.7mm holes on ?8 | |
机械接口 (框架) | 4 2.8mm holes on []45 | 4 4.5mm holes on []84 | |
电气接口 | 2 RG178B/U同轴电缆 | 2 RG178B/U同轴电缆 |
暂无数据