看了XYZ轴压电平台的用户又看亅/p>
虚拟号将 180 秒后失效
使用微信扫码拨号
压电平台XY200M沿X,Y和Z轴的行程?00 m?*可以承受3kg的负载。应用领域包括共焦微镜,掩膜定位和检测。这种平台基于APA200M设计,具有很高的硬度。平台可以配备精度高?0nm的应变计或涡流传感器。平台沿X,Y和Z轴的转动非常小。移动外框可根据要求定制、/span>
这种结构要求驱动器的前两个通道为推拉式、/span>
参数 | 单位 | XYZ200M |
型号 | V-XYZM200 | |
备注 | - | |
传感?/p> | SG,ECS | |
主动轳/p> | TX,TY,TZ | |
**空载位移[Tx,Ty] | um | 180 |
Z方向**面外位移 | um | 200 |
Z方向?*转动 | urad | 240 |
XY方向?*转动 | urad | 50 |
电压范围 | V | -20?50 |
硬度 | N/um | 0.66 |
高度(Z ? | mm | 44.0 |
尺寸(X&Y ? | mm | 100*100 |
分辨玆/p> | nm | 1.8 |
质量 | g | 540 |
空载共振频率(在致动方? | Hz | 380 |
响应时间 | ms | 1.32 |
电容(每个电气接口) | uF | 6.30 |
机械接口(有效负载) | 物镜接口**4/55 *1.36(指定) | |
机械接口(框架) | 4 4.5mm []84 | |
电气接口 | 3 RG178B/U 同轴电缆 |
暂无数据