Hprobe IBEX 300-1C

Hprobe IBEX 300-2C

� 可以用于100~300mm晶圆

� 提供大的面内和垂直磁圹�/p>

� 磁场定向和旋转的三维控制

� 快速扫描能�

� 嵌入式传感器校准

� 自动测试程序

� MRAM和传感器参数提取软件

� 与标准探针卡兼容

探针台采用独特的**三维磁场发生器，每个磁场空间轴独立驱动。利用这3个自由度，用户可以在任意空间方向应用和控制场，也可以生成旋转场。三维磁场装置配备了所有相关配件，测试程序和磁铁校准工具包、�/span>

三维磁发生器置于探针台顶部，并在晶圆上产生局部磁场。为了适应器件测试设计，探头被放置在晶圆片和发生器之间的间隙中。磁场发生器和晶圆托之间的Z方向距离一般可�?00��m�?mm之间可调，取决于所使用的探针卡和探针、�/span>

三维磁场装置

面内 (XY)

垂直 (Z)

**单轴磁场

350 mT

550 mT

磁场均匀性@ +/1mm

�� 1%

�� 1%

磁场分辨玆�/span>

0.05 mT

0.02 mT

角度分辨玆�/span>

0�?2��

-

场扫描采样率

< 50 kHz

< 50 kHz

R-H 回线测试时间

< 100 ms

< 100 ms

任意波形发生器（AWG（�/p>

� 双通道� 带宽 40MHz

� 正弦波， 方波 & 脉冲 �?0MHz

� 斜波 & 三角� � 200kHz

� 任意波形 < 1M 采样/通道

� **采样速率 250M 采样/�

脉冲发生器（PG（�/p>

� 脉冲宽度*小至 200 ps

� 上升/下降时间< 70 ps (20%-80%)

� 输出电压 10 mVpp � 5 Vpp

� **重复频率 500 MHz 每通道l

� 幅� **� 5V

源表和测量单元（SMU（�/p>

� 电压*小量� 20mV

� 电流*小量� 1nA

� > 3�?00 读数 /科�/span>

数字万用表（DMM（�/p>

� 18 位， *小量� 100mV

� 分辨� 10nV

� *小积分时� 10���

� 标定模式–设置磁场配置并创建用户定义的图彡�/span>

� 工程模式 –运行预执行的测试图形或创建并运行完整的自定义特性和测试

� 产品模式 –从工程模式中设置具有优化测试时间的测试程序

� 开�?短路 测试

� AC/DC I-V� R-V 测试

� AC/DC 击穿电压测试

� �?写脉冲测诔�/span>

� R-H 角度/幅� 回线测试

� 误码率测诔�/span>

� 器件循环和稳定性测�