多功能高级磁控溅射喷金仪—nanoEM

nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的一款高精度皃�strong>磁控溅射喷金�?/strong>。该系统可配备SEM样品托、TEM网、普通样品等多种专用样品台，满足各种高精度的喷金或电极生长需求。除了溅射金属电极外，nanoEM还具有极大的拓展空间，虽然作为台式设备，nanoEM配备了输出功率可�?00W的溅射源，系统还可选择样品台旋转、样品倾斜、自动压强控制等多种功能。丰富的选件和配置可以满足学术研究的多种样品生长需求，可升级成为一台多功能的磁控溅射薄膜制备系绞�/strong>。该设备作为灵活的高精度金属溅射仪备受各大实验室的青睐、�/span>

主要特点９�/strong>

� 能够达到学术研究级的多功能喷金仪

� SEM托、TEM网、普通样品多种专用样品台可逈�/span>

� 可安装两�?英寸溅射溏�/span>

� 通用的溅射靶杏�/span>

� 本底真空<5��10^-7mbar

� 流量计精确控制生长气氚�/span>

� 可调式DC溅射源，输出功率可达300W

� 全自动，引导式触屏控刵�/span>

� 完备的安全性设讠�/span>

� 易于维护

� 兼容超净宣�/span>

� 稳定的性能表现

系统选件９�/strong>

� 腔体视窗

� 真空泵型号可逈�/span>

� 气压全自动控制系绞�/span>

� 溅射源挡松�/span>

� 等离子体辉光电极

� 样品台旋转与倾斜

� 晶振膜厚监测系统