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仪器简介:
本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,
是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器、/p>
技术参数:
1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度?9.999%
2、真空室:直径:160mm,高?10mm
3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm
4.工作真空: 210-1?0-1 mbar
5.离子电流表:**电流?0mA
6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间、/span>
7.**电压?1600DVC
8.机械泴2?每秒
9.工作室工作媒介气体:空气或氩气,
10.真空气阀 配有氩气专用进气口和微量充气调节,可连接4*2.5mm软管、/span>
主要特点9/strong>
轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作
暂无数据