看了KLA-Tencor INM100显微镜的用户又看亅/p>
虚拟号将 180 秒后失效
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應用9/p>
◆多种成像方式(亮场、暗场、DIC?65nm UV成像等)可用于不同材料特性的分析:/p>
?*样片尺寸可达8英寸,分辨率?.13um:/p>
◆先进的检测方式可用于硅片、光罩和其他材料的失效分析及工艺控制、/p>
技术参数:
半自动化的光学检测设备,被广泛应用于检测硅片、光罩、MEMS以及相关产品。采用了高质量的Leica 镜头,配激光自动聚焦系统、/p>
主要特点9/strong>
◆具紫外光成像功能,成像清晰,分辨率高;
◆模组自动化程度高;
◆软件操作简单易学;
◆机型小巧,产能高、/p>
暂无数据