看了PHL膜厚测量椭偏仪ME-210?T)的用户又看亅/p>
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以往的椭偏仪是单点测试,因此要取得整面膜厚均匀性数据是需要N个小时的工作,而且*小的测量分辨率就是激光光斑大小,也就是说,无法取得微小区域的膜厚分布数据、/span>
ME-210是采用独自开发的微小偏光阵列片来克服上述两大问题的设备、/span>
ME-210能做的就是:
能以快速取徖span>**12inch基板上的膜厚分布
能以高分辨率取得微小区域的膜厚分布(设备**分辨率为5.5um*5.5um(/strong>
设备软件具有模拟功能,因此能比对模拟值与实际值来评估成膜工艺
透明基板的膜厚测野/strong>
技术参数:
光源--typ?36nm,Class2
设备**分辨?-5.5*5.5um
入射?-70
测量再现?-膜厚0.1nm、折射率0.001
设备*块测量速度--5?00个点/min
载物?-标准8inch、选配12inch
暂无数据