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高频等离子表面处理装?/span>
操作?#183;功能
射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型，DP和RIE标配的双模等离子清洗机，可对应更多复杂工?
标准配备电离式真空计，实时显示真空度，使得控制更为精确、/span>
液晶触摸屏控制，操作使用简单，调取数据简单、/span>
安全?#183;保护
标准配备真空泄漏检测功能，可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况、/span>
装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器，以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置、/span>
发生器保护回路：超负荷或者RF发生器发生问题时，可自动调低频率来保护发生器、/span>
门锁开关：门在未完全关闭时无法启动电源、/span>
侧板锁：本体侧板突然打开或者未关好时，会停止电源、/span>
紧急停止按键（EMO）标准配备、/span>
当装置发生异常时，装置本体发出警告信号的同时，进行以下动?）关闭主阀。（2）关闭供气阀。（3）停止输出振荡器?4)停止处理时间。（5）声光报?/span>
产品优势
●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广、/span>
●DP&RIE双模处理，可对应更复杂的工艺、/span>
●搭载高精度适配器，高性能RF电源、/span>
●可变电极构造提高等离子处理效果、/span>
●安全保护措施绵密，有效防止对机器以及样品的损害、/span>
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务、/span>
技术规栻/strong>
型号 |
V1000 |
|
方式 |
DP&RIE双模标准装备 |
|
性能 |
发生器功率： |
0-1000W |
叐/span>生器频率９/span> |
射频RF13.56Mhz |
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发生器匹配方式： |
自动匹配＇span>Auto matching) |
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构成 |
腔体材质９/span> |
铝制腔体 |
腔体内尺寸： |
400400384mm?span>61.4L |
|
电极尺寸９/span> |
300mm300mm |
|
反应气体９/span> |
双路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气佒/span> |
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填充气体９/span> |
一路氮氓/span> |
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控制方式９/span> |
全自动控制，5.7寸液晶触摸屏 |
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真空度显示： |
测量高真空的电离式真空计标准配备，实时显示腔体内真空?/span> |
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配管材质９/span> |
SUS不锈钢以及特氟龙 |
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门： |
铰链?/span> |
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涂装颜色９/span> |
标准色，白系 |
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外形尺寸９/span> |
W700D800H1600mm（高度含警报灯） |
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真空泵： |
无油干式真空抽逞/span>100m3/hour，吸气口NW40＋/span>排气叢span>NW25 |
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电源规格９/span> |
3phase AC200V50/60Hz8A |
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重量９/span> |
?span>215kg |
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附属?/span> |
真空管件一套、真空转接接头一奖/span> |
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