小型桌上型高频等离子表面处理装置

� 操作�?#183;功能

� 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型，发生器自动匹配，无需调节反射波，进一步增加的操作的便捷性、�/span>

� 标准配备数字式皮拉尼传感器，实时显示真空度，使得控制更为精确、�/span>

� 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品，无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染、�/span>

� 安全�?#183;保护

� 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯，可实时监测和了解机器的运转状态、�/span>

� 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能、�/span>

� 产品优势

●等离子清洗机清洗效果好，清洗效率高，功率大，应用范围广、�/span>

●对清洗样品，没有任何材质、外观尺寸等要求、�/span>

●等离子清洗过程中，温升很小，基本可达到常温处理、�/span>

●高效的特制电极，是产生均匀等离子体的保证、�/span>

●特制电极和托盘结构，可保证样品可得到全面有效的清洗、�/span>

� 规格

型号		PDC200
方式		RIE模式、平行平板腔佒�/span>
性能	发生器功率：	0-300W
	发生器频率：	射频RF13.56Mhz
	发生器匹配方式：	自动匹配＇�span>Auto matching（�/span>
构成	腔体材质９�/span>	铝制
	腔体内尺寸：	W400��D250��H150mm
	反应气体９�/span>	二路工艺气体，可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体、�/span>
	控制方式９�/span>	全自动控刵�/span>
	真空度显示：	数字式皮拉尼传感器，实时显示腔体内真空度、�/span>
	配管材质９�/span>	SUS不锈钢以及特氟龙
	门：	铰链�?/span>
	外形尺寸９�/span>	W540��D600��H600mm
	真空泵抽速：	4m3/hour
	电源规格９�/span>	AC220V 10A
	重量９�/span>	�?span>100kg