低温等离�?#183;经典桶型、�/span>

PR500：手动控� PR510：自动触摸屏控制

内槽

硅晶圆灰化状�?/span>

低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功胼�/span>

及触摸屏操作（PR510），提高了操作性及安全性，是一欽�/span>

小型紧凑型的等离子处理设备、�/span>

� 去除光刻胵�/span>

� 部品清洗

� 界面活性处琅�/span>

� 微研�?/span>

� 硅晶圆，玻璃基板对应

用逓�/span>

� 大口径（��215mm）石英反应腔

� 小型一体化设计

规格９�/span>

型号	PR500	PR510
等离子模弎�/span>	DP模式，桶彡�/span>
高频输出功率	Max500W
频率	13.56MHz
同调方式	自动协调
反应腓�/span>	石英��215��305mm
反应气体	2系统（O2／CF4（�/span>
控制	手动	触模屏自动控刵�/span>
配管材质	不锈钢、特氟龙
外形尺寸	W438 x D520 x H760mm	参照规格�?/span>
重量	�?0kg	参照规格�?/span>
电源	单相AC100V 9A	三相AC200V 8A