一、仪器描�?/span>

ATM-240L用于产生高浓�?/span>PSL小球气溶胶，依据VDI 3491＇�/span>part 2）进行设计研发、�/span>

在半导体和航空航天行业中的高效过滤器的测试中，不能采用常见的油性气溶胶物质＇�/span>DEHS�?/span>PAO等），即使很小的量也会存在滤材中或者排出从而导致对产品造成损伤，根�?/span>DIN EN 1822-4中滤材的测试用固体颗粒，经过对比＋�/span>PSL�?*的用于测诔�/span>PTFE高效滤膜�?*材料、�/span>

——较高的产生速率�?*1.5*1011/min、�/span>

——单分散气溶胶粒径分市�/span>

——满足检漏测试（U16级，滤纸栶�/span>610mm*610mm，质量流野�/span>600m3/h（�/span>

——较少的水分摄入，无需干燥

——易于操作、清洁、保兺�/span>

二、仪器应�?/span>

l产生示踪粒子

l测试HEPA咋�/span>ULPA过滤器效玆�/span>

l测试大型洁净闳�/span>VDI2083�?/span>DIN EN ISO14644

l产生PSL小球

三、仪器规格参�?/span>