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应用
清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片、/p>
清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片、/p>
移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质、/p>
清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石、/p>
清洗半导体元件、印刷线路板、/p>
清洗生物芯片、微流控芯片、/p>
清洗沉积凝胶的基片、/p>
高分子材料表面修饰、/p>
牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌、/p>
改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力、/p>
功能
对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 (如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等)进行超清洗、/p>
改变某些材料表面的性能、/p>
使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性、/p>
清除金属材料表面的氧化层、/p>
对被清洗物进行消毒、杀菌、/p>
优点
清除表面有机污染物、/p>
清洗快速、操作简便、使用和维护成本极低、/p>
非破坏性、对被清洗物表面光洁度无损害、/p>
绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染、/p>
常温条件下清洗,被清洗物的温度变化微小、/span>
能清洗各种几何形状、粗糙程度各异的表面、/span>
产品名称9strong>Harrick PDC?02
产品编号9/p>
产品规格9/span>
型号规格:PDC?02
整机规格?1811(长?#215;高)英寸 (228457279)mm反应舱规格:6L6英寸耐热玻璃 (152L152)mm
反应舱有效容积:2.8L
输入电源?20 V?0Hz
整机输入功率?00 W
射频输出档:低档716V DC?0mA DC?.16W/中档720V DC?5mA DC?0.15W/高档740V DC?0mA DC?9.6W
常用工作气体:空气、氩气、氮气或混合气体筈/p>
特征:紧凑的台式设备,没有RF幅射,符合CE安全标准。反应舱盖具备铰链、磁力锁及可视窗口、/p>
选配件:石英等离子清洗舱
提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混合器Plasma FloTM
需要:兼容的真空泵?小速率?.4 m3/hr?*极限?00 MTorr、/p>
包括?/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力
暂无数据