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高倍测量显微镜主要用于LCD?/span>PDP?/span>PCB等相关的光电产业，为其研发、制造提供所需的检测设备。具有观寞/span>OLB压接粒子分布、液晶板表面贴附的异物、液晶板划伤情况、测量导电粒子大小、数量等功能、/span>
产品特点９/span>
高倍测量显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料?/span>PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域、/span>
1. Z轴光栅尺分辨力为0.1m
2. X?/span>Y轴采用空气轴承、花岗石导向，保证了机械系统的精确稳定，提高了测量精?/span>
3. X?/span>Y?/span>Z三轴伺服控制，定位精度高、速度快，运行平稳
4.同轴先/span>/底光测量
5.内置偏光测量光学模块
6.自主开叐/span>QMS3D-M软件，高清晰进口1/2"彩色摄像朹/span>
7.可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，可适应复杂工件的测野/span>
8.可实?/span>Z轴自动对?/span>
9.具有偏光咋/span>DIC检测功胼/span>
10.可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
规格参数９/span>
型号 |
JTM-6065C |
JTM-6090C |
||
工作?/span> |
玻璃台尺寷/span>(mm) |
690*770 |
640*1070 |
|
X?/span>Y运动行程(mm) |
600*650 |
600*900 |
||
Z向行稊/span>(mm) |
200 |
200 |
||
外形尺寸(mm) |
1500*1350*1510 |
1800*1350*1510 |
||
仪器重量(kg) |
1300 |
1550 |
||
X?/span>Y?/span>Z向分辨力(um) |
0.1 |
|||
X?/span>Y示值误?/span>(um) |
E1XY=(2.5+L/200) |
|||
物镜放大倍率误差 |
包括畸变在内的放大率误差９/span>?/span>0.08% |
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落射照明光源 |
可调高亮?/span>LED灯源 |
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底光照明光源 |
可调条型光源 |
|||
电源 |
AC 100V-240V 50/60Hz |
|||
气源压力 |
?/span>0.5MPa |
|||
空气流量 |
120L/min(0.4 MPa) |
|||
温度范围 |
202℃＜1ℂ/span>/h；/span>2ℂ/span>/24h；/span>1ℂ/span>/m |
|||
湿度 |
55%~65% |
|||
目视系统 |
影像系统 |
|||
物镜放大倍数 |
5X?/span>10X?/span>20X?/span>50X |
|||
目镜放大倍数 |
10X双镜筑/span> |
1/2”CCD摄像朹/span> |
||
总放大倍数 |
50X~500X |
140X~1400 (17“/span>显示嚣，分辨玆/span>1024*768) |
||
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