仪器简介：

NTEGRA Spectra

是一款独特的集成了扫描探针显微镜、激光共聚焦/荧光显微镜和拉曼光谱仪的系统。其强大的TERS效应，可在得到拉曼光谱的同时获得高达50nm的成像分辨率、�/p>

只有NTEGRA Spectra能在软件、硬件等技术方面为集成Renishaw的拉曼光谱系统提�?*的方案，以便用户能在分子水平上用不同的技术手段来分析、研究样品。这样的集成，能让用户极大的提高工作效率，将更多的时间用于数据采集和分析，而无需为繁琐的仪器操作而苦恼。所以，可以负责任的说：真正的集成是远远优于简单的组合的�

激光共聚焦显微�?拉曼光谱仪系绞�/span>

NTEGRA Spectra 系统集成了激光扫描共焦光谱仪、光学显微镜和常规的扫描探针显微镜。该系统能用于发光光谱和拉曼散射的三维成像、所有的SPM功能，包括纳米压痕、纳米加工和纳米刻蚀等�?

扫描探针显微镛�/span>

除了光学检测外，NTEGRA Spectra还可使用SPM的方法来研究样品，诸如：AFM、MFM、STM、SNOM、力谱等等。这样独特的集成了光学方法和扫描探针方法合二为一的系统，为用户完成复杂的实验变成可能，用户可从实验中得到样品的光学分布信息、化学性质、力学性质、电学性质和磁学性质等�

用超越激光衍射极限的系统来研究样�?/span>

NTEGRA Spectra 在检测样品时，能提供超越激光光学衍射的光学分辨率。近场光学显微镜和TERS系统能让用户得到光学性质分布图（激光传输、散射和偏振等）的同时获得拉曼散射光谱和高达50nm的XY方向分辨率、�/p>

技术参数：

共聚焦显微镜光学模块正置或倒置光学显微镜观测系绞�/p>

可见光谱测量 (390-800nm)

激发光路中配置手动式格�?泰勒起偏棱镜 390-1000nm

检测光路中配置电动式格�?泰勒检偏棱� 390-1000nm

三轴定位电动�?/2波片

光束分离�?/p>

可选配倏逝激发系统（用于TERS�

光学分辨玆�/span> XY� 200nm

Z�?00nm

扫描模块**样品质量�?000g

**扫描范围�?00x100x25 um

XYZ三维全量程闭环控制扫描系绞�/p>

XY方向非线性度�?.03 % （典型值）

Z方向噪音水平９�0.2 nm （典型值）

XY方向噪音水平９�0.5 nm（典型值）

共聚焦针孓�/span> 直径0~1.5mm可调，步�?.5 um

注：无论样品是否透明，都可用我们的共聚焦显微镜在空气或液体环境中对其进行研究、�/p>

拉曼光谱�?/span>

光谱仪焦镾�/span> 520 mm

激光器波长*441� 488� 514� 532� 633 nm

杂散光抑刵�/span> 10^-5，（20nm �?32nm激光器 （�/p>

平场面积28 mm x 10 mm

光谱分辨玆�/span> 0.025 nm (1200 l/mm光栅**)

端口1输入�?输出

光栅�?/span> 4孔转盘（3 个光�?“直接成像”模式用的反射镜�

探测�?/span> CCD：光谱响应范围：200�?000 nm，电冷装置冷却至�?0��C�?00nm�?5% 量子效率

用于光子计数的APD***：光谱相应范围：400�?000 nm，暗计数=25/秒，提供高达1GHz计算速度的PCI 卡� * 标准配置中包括一�?88 nm激光器，其他波长激光器可选配

** 可选配其他光栅。小阶梯光栅具有**的光谱分辨率

***可选用PMT

扫描近场光学显微镛�/span>

功能模式：剪切力成像/SNOM反射模式，透射模式，荧光模式（选配�

激光模坖�/span> 耦合装置：X-Y-Z 定位器，定位精度1 um

V型槽光纤固定�

装配40x物镜

光纤传输系统 KineFlex^TM

光束衰减器：可配多种减光�

剪切力成僎�/span> 样品尺寸�?*直径100mm�?*厚度15mm

XY二维样品移动平台：样品定位范�?x5mm，样品定位精�?um

XYZ三维全量程闭环控制扫描系绞�/p>

样品扫描� 针尖扫描�

扫描范围 100x100x25 um 100x100x7 um

非线性度 XY 0.03 %（典型值） <0.15%

噪音水平 Z <0.2 nm（典型值） 0.04nm（典型值）＋�=0.06nm

噪音水平 XY <0.5 nm（典型值） 0.2 nm（典型值）＋�=0.3 nm

石英音叉基频 190 kHz

光纤孔径 <100nm

可同时采集的数据通道反射模式

透射模式/荧光模式

PMT光谱响应范围�?85-850 nm

灵敏度：3x10¹⁰�?20 nm�

隔振系统主动式：0.7-1000 Hz

被动式：大于1 kHz

扫描探针显微镛�/span>

功能模式：AFM（接�?半接�?非接触）/侧向力模�?相位成像模式/力调制模�?粘滞力成�?磁力显微�?静电力显微镜/扫描电容显微�?扫描开尔文探针显微�?扩展电阻成像模式/刻蚀：AFM（力和电流）

样品尺寸***直径100mm�?*厚度15mm

扫描范围50x50x5 um

闭环控制系统**XYZ三维全量程闭环控制扫描系统，采用电容传感�

非线性度XY <0.15%

噪音水平Z 0.06 nm（典型值）＋�=0.07nm

噪音水平XY 0.1 nm（典型值）＋�=0.2 nm (XY 50 um)

*扫描头部可单独使用，此时对样品尺寸和重量无限�

**内置的电容传感器拥有极低的噪音水平，即使降到50x50 nm的区域也可以用闭环控制来扫描

主要特点９�/strong>

AFM探针和激光光�?*的同步协调。AFM探针可在纳米级的精度上定位于激光光斑中—在TERS中，这是必要的条件。在激光扫描和样品扫描�?个轴中，全部采用全量程闭环控制系统、�/p>

高数值孔径的光学物镜和SPM系统紧密的集成在一起，让系统的光学稳定性达�?***的高度—为长程和微弱的信号而设计、�/p>

反射模式的激光光路可用于激光共聚焦成像、�/p>

电冷�?70��C的CCD，用于光谱探测和成像、�/p>

也可选用APD来进行光子计数、�/p>

在激发通道和检测通道中，用户可灵活方便的配置偏光光路、�/p>

多功能的集成软件控制系统，所有的系统模块包括AFM、光路系统和机械系统都由统一的软件来控制。激光器、光栅、针孔等等，都可由软件来切换或调节、�/p>

NT-MDT可根据用户需求定制不同使用需求的TERS系统、�/p>