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108C Auto镀碳仪是一个紧凑的，易于使用的镀碳仪，主要用来给不导电的样品镀一层碳膜，用于扫描电镜能谱分析?成熟的镀碳仪之一、/span>
主要特?/span>
l独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约20nm左右进行多次蒸发，无须切削或调整碳棒形状、/span>
l108CAuto中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑，容易操作，抽真空周期短。选件MTM-10高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度、/span>
l使用新型的蒸发装置：电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低，碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源可以通过脉冲或连续的方式操作、/span>
l可选择手动或自动方式操作、/span>
l自动模式下，蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下，独特的设计允许以脉冲或连续的方式操作，并通过旋钮控制输出电压、/span>
l可配夆/span>MTM-10高分辨膜厚监控仪（选件）。分辨率优于0.1nm。在15nm臲/span>25nm的碳膜厚度范围内，重现性可优于5％、/span>
技术参?/span> |
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样品室大導/span> |
直径120 x 120mm髗/span>(4.75 x 4.75") |
蒸发溏/span> |
Bradley垊/span>(6.15mm rods)＋/span>高强度不锈钢结构 |
蒸发控制 |
基于微处理器的反馈回路控制，能够进行远程电流/电压感应，基于真空水平变量的安全互锁功能，zui大电?/span>180A，提供过流保抣/span> |
样品?/span> |
可装?/span>12个样品座，高度在30mm范围内可谂/span> |
模拟计量 |
真空: atmos - 0.001mb;电流: 0-200A |
厚度监控 |
MTM-10高分辨膜厚监控仪(选件) |
控制方法 |
自动蒸发控制，使用程序设定的电压和时闳/span> 以脉冲或连续方式进行完全手动控制 数字定时器（0，/span>10s（/span> 数字电压设置＇/span>0.1 to 6.0V（/span> |
真空系统 |
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真空泴/span> |
2级直连式高速真空泵 |
抽气速率 |
3.0 m3/小时，真空度?/span>0.1mb所需时间30科/span>. |
极限真空 |
5 x 10-3mba |
桌上系统 |
真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
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移动?/p>
工商已核宝/p>
