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108Auto是一款结构紧凑的离子溅射仪，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜?08auto离子溅射仪的样品室直径为120 mm，样品台的高度可以任意调节，同时还带有高效的直流磁控溅射头和独立的真空控制系统，能充分满足客户的多种需求、/p>
主要特?/strong>
自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和zui佳的导电喷镀效果、/p>
通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损、/p>
操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制、/p>
在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果＋/p>
通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程、/p>
可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程、/p>
数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果、/p>
可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd，，Pt，，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便、/p>
| 技术参?/strong> | |
| 样品室大導/strong> | 直径120mmx 120mm ?4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶为标配，Au:Pd Pt Pt:Pd （选件（大小：直?7mmx 0.1mm厙/td> |
| 样品?/strong> | 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围?0mm |
| 溅射控制 | 微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电?0mA，程序化数字控制 |
| 溅射夳/strong> | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
| 模拟计量 | 真空：Atm - 0.001mbar |
| 厚度监控 (选件) |
使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过稊/td> |
| 控制方法 | 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0?00s），自动放气 |
| 桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
暂无数据
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工商已核宝/p>
