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德国Eulitha高分辨紫外光刻机PhableR 100

科研/生产兼用

简介：

PhableR 100 紫外光刻机是一套低成本的光学曝光系统，但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似，涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面，被紫外光束照射。由于Eulitha拥有突破性的PHABLE 曝光技术，�?PHABLE"模式下，分辨率不再受到衍射的限制，从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅（六角形和正方形），且曝光结果非常均匀，质量很 好；�?mask aligner"模式下，能非常轻松地获得微米尺寸的图形、�/span>

特点９�/strong>

�� 高效的大面积亚微�?纳米图形化设夆�/span>

�� 操作简单、工作稳定，兼容科研及批量生�?/span>

�� 纳米周期性图案解决方桇�/span>

优势９�/strong>

�� 大面积图形化设备：适用4�?�?寸衬应�/span>

�� 高曝光效率：非步进式曝光，无拼接，单次全场曝光实现整片图形化

�� 高精度：光学衍射自成像原理，突破传统曝光精度极限

�� 非接触式曝光

�� 设备没有景深限制，曝光过程无需对焦

�� 双工作模式（UV375机型）：高分辨模式（周期性纳�?微米结构），一般紫外光刻模式（非周期结构）

�� 设备采用通用的商业光刻胶，根据客户的图形，提供工艺技术支持、�/span>

技术指标：

光源UV375nm DUV266nm DUV193nm

分辨�125nm 75nm 62nm

周期范围250-3000nm 150-2500nm 125-2000nm

操作方式手动装片-自动曝光 参数设置 触摸屎�/span>

基片尺寸**4�?�?英寸（尺寸向下兼容）

PhableR 100 晶圆级光子学结构的曝光工�

应用９�/span>

�� 图形化蓝宝石衬底（PSS（�/span>

�� DFB布拉格光栄�/span>

�� 减反层图彡�/span>

�� 显示滤光片Color Filter

�� 线栅偏振Wire Grid Polarizer（WGP（�/span>

�� 光子晶体

�� 磁性纳米结枃�/span>

�� 太阳能光伎�/span>

�� 生物传感�?/span>

�� AR、VR技�?/span>