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瑞士Swisslitho 3D纳米结构高速直写机NanoFrazor

-源自IBM**研发成果

NanoFrazor纳米3D结构直写机的问世，源于发明STM和AFM的IBM苏黎世研发中心，是其在纳米加工技术的**研究成果。NanoFrazor纳米3D结构直写�?*次将纳米尺度下的3D结构直写工艺快速化、稳定化、�/span>

NanoFrazor采用尖端直径�?nm的探针，通过静电力精确控制实现直�?D高精度直写，并通过悬臂一侧的热传感器实现实时的形貌探测。相对于其他制备技术如电子束曝�?光刻技�?EBL)� 聚焦离子束刻蚀(FIB)有以下特点：

�3D纳米直写能力

高直写精� (XY: 10nm� Z: 1nm)

高速直� 20 mm/s 与EBL媲美

�无需显影，实时观察直写效枛�/strong>

形貌感知灵敏�?.1nm

样品无需标记识别，多结构套刻，对准精� 5nm

�无临近效库�/strong>

高分辨，高密度纳米结枃�/p>

�无电�?离子损伤

高性能二维材料器件

�区域热加工和化学反应

多元化纳米结构改�?/p>

�大样品台

100mm X 100mm

新产品发布：NEW！！ NanoFrazor Scholar --小面积直冘�/strong>

�3D纳米直写能力

高直写精� (XY: 30nm� Z: 1nm)

高速直� 10 mm/s

�无需显影，实时观察直写效枛�/strong>

形貌感知灵敏�?.1nm

样品无需标记识别，多结构套刻，对准精� 10 nm

�无临近效库�/strong>

高分辨，高密度纳米结枃�/p>

�无电�?离子损伤

高性能二维材料器件

�区域热加工和化学反应

多元化纳米结构改�?/p>

�小样品台

30mm X 30mm

该技术自问世以来已经多次刷新了世界上*�?D立体结构的尺寸，创造了世界�?小的马特洪峰模型�?小立体世界地图，*小刊物封面等世界记录、�/strong>

独特的直写与反馈流程

、�/span>PPA(聚苯二醛)直写胶涂敷在样品表面、�/span>

、�/span>背热式直写探钇�/span>，微区电阻式加热针尖。与针尖接近的PPA受热瞬间分解，周围部分由于PPA热导率低而不受影响、�/span>

、�/span>热针震动模式直写，直写时探针加热，每次下针幅度受静电力控制，垂直精度 1 nm，从而写�?D图形、�/span>

、�/span>冷针接触模式扫描＋�/strong>回程扫描时探针冷却，由侧壁的热感应器探测样品高度变化(精度0.1nm)� 获得样品形貌。反馈数据修正下一行直写、�/span>

独有的直写针尖设讠�/strong>

普通的AFM针尖无法满足上述NanoFrazor直写流程的需求，因此NanoFrazor所用针尖是由IBM专门研发设计的。该针尖具有两个电阻加热区域，针尖上方的加热区域可以加热�?000oC� 第二处加热区域作为热导率传感器位于侧臂处，其能感知针尖与样品距离的变化，精度高达0.1 nm。因此在每行直写进程结束后的回扫结构时，并不是通过针尖 起伏反馈形貌信息，而是通过热导率传感器感应形貌变化，从而实现了比AFM�?000余倍的扫描速度，同避免了针尖的快速磨损消耗、�/span>

NanoFrazor技术特炸�/span>

其他功能

� 纳米颗粒有序定位排列

� 纳米局部化学反应诱寻�/span>

� 表面化学图案、结构生成纳米颗粒有序定位排�

氧化石墨烯的定位还原