日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS　

JBX-9500FS是一�?00kV圆形束电子束光刻系统，兼具世�?*水平的产出量和定位精度，**能容�?00mm��的晶圆片�?英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产、�/span>

产品规格９�/strong>

产品特点９�/span>

�� JBX-9500FS是一�?00kV圆形束电子束光刻系统，兼具世�?*水平的产出量和定位精度，**能容�?00mm��的晶圆片�?英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产、�/span>

�� 此外，由于具�?00MHz�?快扫描速度，场尺寸�?000��m��1000��m时的套刻精度达到��11nm、场拼接精度�?#177;10nm、写场内位置精度�?#177;9nm，是兼具世界**水准产出率和位置精度�?00kV圆形束光刻系统、�/span>

�� 由于采用的位置偏转DAC�?0位，扫描DAC�?4位，能获�?.25nm的扫描步距，分辨率更高，描画数据增长1nm，可以更忠实地再现描画数据、�/span>

�� *快达�?00ＭＨｚ的高速化扫描速度，保证了大电流描画时的扫描步距很短，因而能提高对精度要求极高的图形描画的产出量、�/span>

�� 由激光束控制（LBC）的0.15nm�?#955;/4096）的*小定位单位及高分辨率，达到了世界**水准的位置精度、�/span>

�� 本公司独自的自动校正功能(自动补偿功能)，实现了可信赖的长时间稳定地描画。自动补偿可以根据时间（任意的）、场和图形进行分别设定，非常适合于周末及休假等无人值守等情况下的长时间描画、�/span>

�� 该系�?*能容�?00mm��的晶圆片�?英寸的光掩模版，适合于纳米压印、光子器件、通信设备等各种领域的研发及生产。采用材料卡匣传送系统（选配），*多可装载10个卡匣、�/span>

�� 利用微间距控制程序（场尺寸微调程序）可以制作DFB激光器等的啁啾光栅、�/span>