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瑞士Sawatec 匀胶机SM-150：手动涂胶的**选择

匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的**选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺�?*� 150mm (6�? 127x127mm (5”x5�?的基板上。工艺腔设计可满�?*直径� 176mm、�/span>

SM系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力*小化，SAWATEC 公司开发了一种极其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保� 碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本*小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所、�/span>

功能（基本配置）

。可编程�?� 50 个程�?各包� 24 个程序段)

。适用于重复工艺的快速启动功胼�/span>

。触摸屏面板控制，方便用户程序配置工艺参数：转速、加速度、工艺时间旋转方向可� (顺时针、逆时�?

。手动装卸基松�/p>

。通过具有安全保护的真空系统进行基板固宙�/span>

。手动盖子带有空气入口和闭合安全保护工艺结束时的声音信号

性能数据

。速范围：0 � 10�?00rpm +/-1rpm

。转速加速度�?�?�?00rpm �?.8�?0�?0�?00rpm�?� 1)

。减速度�?0�?00rpm-0 �?.5�?8�?00rpm-0 �?.8� 1)

。工艺时�?长为 2376 s

。每个程序段的给胶时间为 99 s

附加功能（可选项（�/span>

。半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的

。工艺腔的手动氮气净化装�?/span>

。用于简化操作的“启�?停止”脚踏开�?电缆长度 1.8m)

。经阳极电镀处理的铝制工艺腔

。铝制或 PE(聚乙�?材料制成的工艺腔保护碗用� SM-150 匀胶机的真空泵

。晶圆定位器 2”�?�?圆形)

旋转卡盘分类

为了达成**涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同，可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏，有时不仅要选择**的旋转卡盘尺寸，还要采用专门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单，不需要使用工具、�/span>

。真空卡盘小牆�/span>

。真空卡� 1� 3�?圆形)

。真空卡� 100mm(4�? 150mm(6�?

。真空卡� 100x100mm(4”x4�? 真空卡盘 125x125mm(5”x5�? 其他卡盘需咨询

设计和尺寷�/strong>

。桌上式版本 SM -150-BT＋�/span>

。内嵌式版本 SM-150-BM

。紧凑且节省空间的结构形弎�/span>

。POM(聚甲醛树�?材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容�?/span>

。POM(聚甲醛树�?材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。透明盖板：玻璃制戏�/span>

。具� 3.5� 彩色显示屏的触摸屏面松�/span>

。高精度，高动态的交流伺服电机

。经电解抛光处理的不锈钢外壳

。外�?BT): 350 x 510 x 403mm (�?�?高）

。重�?BT): � 29kg

。安装模�?BM): 300 x 300 x 368mm (� x � x

。安装面� 320 x 166 x 50mm ( � x � x

。重�?BM): � 20kg

接口

�?30 VAC 50/60Hz 10A

。脚踏开关用插头接口

。技术真空，软管 ?6/4mm(-0.8bar)

。压缩空气或氮气软管?6/4mm(3bar) (仅限于和给胶系统配合使用)

。排放接� ?12mm

。BT 废气接口 ?38mm(20�?0m3/h) BM 废气接口 ?25mm(20�?0m3/h)