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芬兰样本
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芬兰PICOSUN 生产型原子层沉积朹/strong>P-200S Pro ALD
技术参?/strong>
衬底尺寸和类型:
?0 200 mm /单片
?56 mm x 156 mm 太阳能硅牆/p>
?50 mm x 150 mm 显示面板
工艺温度9/strong>50 - 500 C 可选更高温?/span>
基片传送选件 9/span>
。气动升降(手动装载(/p> 。半自动装载,用PICOPLATFORM?200集群系统实现 ?5片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cas
标准9/strong> SEMI S2 认证(认证中(/span>
前驱体:
、/span> 液态, 固态, 气态, 臭氧源, 等离子体??路气体)9/p> 。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务 ?根独立源管线?多加?2个前驱体源(加上Plasma管路,共7根独立源管线(/span> 重量 ?90 kg
尺寸 ?W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm
可选件 :集群工具, PICOFLOW? 扩散增强器, 集成椭偏仪, QCM RGA N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务、/span>
验收标准 :。标准设备验收标准为 Al2O3 工艺+/p>
。其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如9/p>
- 不均匀?/p>
- 颗粒物含野/p>
- 重金属污柒/p>
- 电学性能
一个PICOPLATFORM? 200真空集群系统由两台PICOSUN? P-200S ALD设备组成,带等离子体源PICOPLASMA?、/strong>
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