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德国样本
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芬兰PICOSUN生产型原子层沉积朹strong>P-1000 Pro ALD
技术参数:
衬底尺寸和类垊/strong>
?56 mm x 156 mm硅片800?000?批次(双?背对背)
。高?00 mm x 600 mm玻璃基板30?0?批次(双?背对背)
。大批量?D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等)
。多孔,通孔,高深宽比(HAR)样?/span>
工艺温度9/strong> 50 - 500 C
基片传送选件9/strong>
。气动升降(手动装载,带叉车forklift cart(/p> 。全自动转载,用工业机器人实?/span> 前驱体: 。液态、固态、气态、臭氧源 。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务 ?根独立源管线?多加?2个前驱体溏/span> 重量9/strong> 2000 kg
尺寸9/strong>(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm
选件9/strong> PICOFLOW? 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务、/span>
验收标准9/strong> 标准设备验收标准 Al2O3 工艺
暂无数据