产品详情

德国 PVA TePla 等离子去胶机

型号：IoN 100WB-40Q等离子去胶机

IoN 100WB-40Q是我�?*推出的具有高性价比的真空等离子去胶设备。它来源于IoN 100-40Q，IoN 100WB-40Q延续了同样的高品质保障，包括可选压力控制器、光谱终点检测器等丰富配置选择、�/span>

IoN 100WB-40Q配备了一个圆筒石英腔，特别适用于半导体、LED、MEMS等领域的光刻胶灰化、打残胶、氮化物刻蚀、表面清洁等应用的批次处理、�/span>

IoN 100 WB旨在满足客户的生产需求，着重于表面处理的多功能性和可控性。其先进的性能提供了出色的工艺控制、失效报警系统和数据采集软件。这使得该设备可满足半导体、LED、MEMS等领域严格的程序控制要求。IoN 100 WB结构紧凑，集成度高，采用射频（RF）频率激发等离子体、�/span>

先进的功能特性：

� 低微粒石英腔佒�/span>

� 触摸屏操作，图形用户界面（GUI（�/span>

� 使用Windows系统的工业计算机控制

� 工艺员、操作元、维护员访问权限控制

� 自诊断功能和警报记录功能，联网在线诊断功胼�/span>

� 以太网远程控制功胼�/span>

� 工艺编辑软件提供了快速灵活的步骤控制功能

� 可隔墙安裄�/span>

� 可选配光谱终点检测功胼�/span>

规格参数

工作腔室材料 石英

腔门材质 铝（标配（�/p>

腔体尺寸 直径304 mm，深508mm

**可处理晶圆尺� 8“�/span>

**处理� 50�?“�/span>

装料方式 手动

工艺气体质量流量控制� *多至6路气佒�/p>

工艺压力 200-2000 mTorr(取决于真空泵和气体流�?

抽真空时� 大约1分钟 (取决于真空泵)

射频电源 风冷13.56MHz�?00 �?标准配置)

供给需求电源　　　　　 220V 单相� 50Hz

工艺气体 输入压力 1-2 bar

吹扫气体 输入压力 1-2 bar

压缩空气 输入压力 4-6 bar

机体

� 独立的机体带有所有电源和气体接口

� 带有旋转垫脚的可转动机身

设备尺寸

标准尺寸 1067 x 737 x 1524 mm（宽/�?深，不含泵）

重量 �?04千克（不含泵（�/span>

可选项

� 压力控制�?/p>

� 1%精度的真空规

� 石英腔门

� 指示灯柱

� 条形码阅读器

� 工艺气体切换�?/p>

� 光谱终点检测器

� 耐腐蚀性气体的MFC

� 1000 �?3.56 MHz射频发生�?/p>

� 真空泵（油泵或干泵）