电子光学

? Elstar 超高分辨场发射扫描镜筒，配有９�/span>

� 浸没式电磁物镛�/span>

� 高稳定性的肖特基场发射电子枪，用于提供稳定高分辨率分析电流

? SmartAlign：自动合轴技�?/span>

? 带极靴保护的 60 度双物镜透镜，支持倾斜较大的样�?/span>

? 自动加热式光阑，可确保清洁和无接触式更换光阑孓�/span>

? 静电扫描，提高偏转线性度和速度

? Thermo Scientific? ConstantPower? 透镜技术，获得更高热稳定�?/span>

? 集成快速电子束�?

? 电子束减速，样品台偏� 0 V � -4 kV*

? 电子源寿命至� 12 个月

电子束分辨率

? �?*工作距离下：

� 30 kV 下STEM 0.6 nm

� 15 kV � 0.6 nm

� 1 kV � 1.0 nm

� 1 kV � 0.9 nm (电子束减速模�? *

? 在束重合点：

� 15 kV � 0.6 nm

� 1 kV � 1.5 nm(电子束减速模� * � DBS 探测�?（�/span>

电子束参�?/strong>

? 电子束流范围�?.8 pA - 176 nA

? 加速电压范围：200 V - 30 kV

? 着陆能量范围： 20 eV * - 30 keV

? **水平视场宽度�? mm 工作距离下为 2.3 mm离子光学

Tomahawk HT 离子镜筒�?*的大束流性能

? 离子束流范围�? pA � 100 nA

? 加速电压范围：500 V - 30 kV

? 两级差分抽吸

? 飞行时间（TOF）校凅�/span>

? 15 孔光阐�/span>

? **水平视场宽度：在束重合点处为 0.9 mm

? 离子源寿命至� 1�?00 小时

离子束分辨率（在重合点处（�/strong>

� 30 kV� 4.0 nm（采�?*统计方法（�/span>

� 30 kV� 2.5 nm（采用选边法）

探测�?/strong>

? Elstar 透镜� SE/BSE 探测系统（TLD-SE、TLD-BSE（�/span>

? Elstar 镜筒� SE/BSE 探测系统（ICD� *

? Elstar 镜筒� BSE 探测系统（MD� *

? Everhart-Thornley 二次电子探测器（ETD（�/span>

? 样品室红� CCD 相机，用于样品台高度观察

? 高性能电子及离子探测器（ICE），用于采集二次电子和二次离�?

? 样品室内 Nav-Cam 相机，用于样品导� *

? 可伸缩式低电压、高衬度、定向固态背散射电子探测器（DBS�?

? 可伸� STEM 3+ 分割式探测器(BF、DF、HAADF) *

? 集成电子束流测量

样品台和样品

高度灵活的五轴电动样品台９�/span>

? XY 范围�?10 mm

? Z 范围�?5 mm

? 旋转�?60��（连续）

? 倾斜范围�?15�� � +90��

? **样品高度：与优中心点间隔 85 mm

? **样品质量：任意位置处� 500 g（包括样品托）；0��倾斜时可� 5kg：�/span>