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四川样本
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URE-2000/A12 紫外单面光刻朹/strong>
1、设备主要技术指标:
(1) 曝光面积 300mm300mm:/span>
?)分辨力9/span>2m:/span>
?)对准精度:2m:/span>
?)掩模尺寸: 7 英寸? 英寸?3 英寸:/span>
?)样片尺寸: 6 英寸? 英寸?2 英寸:/span>
?)wafer chuck 表面:防止光反射涂层:/span>
?)掩模样片整体运动范围:X?0mm;Y:10mm:/span>
?)掩模相对于样片运动行程:X:5mm; Y: 5mm; Thelta: 6:/span>
?)汞灯功率:1000W(直流):/span>
?0)曝光能量密度: 10mW/cm 2 :/span>
?1)曝光峰值波镾365nm:/span>
?2)光源平行度:<2:/span>
?3)曝光方式:定时(计时方 0.1s?999.9s);
?4)光刻版夹具兼容?/span>
2.技术主要组成部刅/span>
?)曝光头系统包括:
。冷光椭球镜:/span>
德国 OSRAM1000W 直流高压汞灯:/span>
XYZ 汞灯调节台;
光学系统(冷光紫外平面反射镜、快门、蝇眼透镜组、冷光紫外抛物面反射镜):/span>
冷却风扇、/span>
?)对准工件台系统包括:
掩模样片相对运动台;
。(XY),转动台;
样片调平机构:/span>
样片调焦机构:/span>
。承片台 3 个: 6 英寸? 英寸?2 英寸:/span>
掩模 3 个: 7 英寸? 英寸?3 英寸、/span>
?)CCD 对准显微镜系统包?
? 倍显微镜 2 只;
。照明光 2 套;
CCD 相机 2 只;
?2 英寸液晶显示器、/span>
?)电控系统:
汞灯触发电源(1000W):/span>
单片机控制系统;
。控制柜桌、/span>
?)气动系统系统包?
气缸、电磁阀、减压阀、气动开关,电磁阀驱动,气动仪表等
?)其他配置与附件
。真空泵一台;
。空压机一台;
。配套气 10m:/span>
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