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DS-2000/14K 无掩膜单面光刻机
1．技术特?/strong>
。采 DMD 作为数字掩模，像素数 1024768
。采 14 倍缩小投影光刻物镜成像、/p>
。采?*技术——积木错位蝇眼透镜实现均明、/p>
。具备对准功胼/p>
。采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应 100mm?100mm 基片、/p>
。采 CCD 检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光、/span>
2．技术参?/strong>
。光源：350W 球形汞灯（曝光谱线： i 线）或紫外LED：/p>
。照明不均匀性：2%：/p>
。物镜倍率?4 倌/p>
。曝光场面积?mm0.75mm
。光刻分辨力? m
。工件台运动范围：X?00mm Y?00mm：/p>
。工件台运动定位精度９/span>0.65m：/p>
。调焦台运动灵敏度：1m：/p>
。对准精度：2m：/p>
。调焦台运动行程?mm
。检焦：CCD 检测，检测精 2 微米
。转动台行程?#177;6以上
。基片尺寷/p>
。外徃 ?mm?00mm，厚度：0.1mm--5mm
3．外形尺寸：840mm（长）x450mm(? x830mm（高（/span>
4．配?/strong>
?）照明系绞/strong>
?50W 直流汞灯（或 LED）、椭球镜、准直镜、蝇眼透镜组、场镜组?65nm 滤光片、气动快门、DMD（美国德州仪器）、冷却风扇、/p>
。投影物镜：缩小倍率 14 倌/p>
。分辨力 1m
?）工件台系统
。X 台：电机驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导 2（日 THK）、光栅（美国（/p>
。Y 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠（日本 NSK）、导 2（日 THK）、光 2（美国）
。转动台：电机及驱动器（日本乐孜），转动轴系
。Z 台：电机及驱动器（日本乐孜）、丝杠、上升导向机枃/p>
。承片台? 英寸（可增加 3 英寸? 英寸? 英寸等）
?）检焦系绞/strong>
。焦面光学检测系统、CCD、焦面检测软仵/span>
?）对准系绞/strong>
。对准光学检测系统、CCD、对准软仵/span>
?）电控系绞/strong>
。汞灯电源及触发器、主机控制系统、软件、计算机、监视器?9 英寸液晶）、接叢/span>
?）气动系绞/strong>
。电磁阀、旋转气缸、减压阀、压力表、真空表
?）其他附仵/strong>
。真空泵一?无油?
。空压机一台（静音泵）
。管遒/span>
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