1．技术特�?/strong>——非常适合工厂（效率高，操作傻瓜型，自动化程度高）和高校教学科研（可靠性好，演示方便）采用自动找平，具备真空接触曝光、硬接触曝、压力接触曝以及接近式曝光四种功能，自动分离对准间隙和消除曝光间隙，采用 350W 进口（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度。设备外形美观精制，性能非常可靠，自动化程度很高，操作十分方便、�/span>

2．技术参�?/strong>

。曝光面积：4 英寸

。曝光波长：365nm

。分辨力�?.8��m

。对准精度：��0. 8��m

。掩模样片整体运动范围：X�?5mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

。样片尺寸：直径��10mm--��100mm(各种不规则片) 厚度 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)

。曝光方式：定时和定剂量18

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼�/span>

。照明不均匀性： 3%＇�/span>��100mm 范围（�/span>

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌�/span>

物镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

目镜三对�?0 倍�?6 倍�?0 倌�/span>

。调平接触压力通过传感器保证重夌�/span>

。数字设定对准间隙和曝光间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接叢�/span>

掩模相对于样片运动行程：

X:��5mm; Y:��5mm; Thelta:��6o

。焦厚：400��m（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3.5 o

。曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面温度<35 o

。单层曝光一键完戏�/span>

。采用球气浮自动找平

。汞灯功率：350W（直流，进口汞灯（�/span>

3．外形尺寸：1200mm（长)x900mm(�? x1750mm（高（�/span>

4．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

�?50W 进口直流高压汞灯(进口)

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场�?、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台19

。转动台

。样片调平机构，自动完成

。基片抽拉式上下机构

。样片调焦机构，电机自动谂�/span>

。承片台 4 个：?15mm �? 英寸�? 英寸�? 英寸（可按用户要求增减）

。掩模夹 4 个：3 英寸�? 英寸�? 英寸（可按用户要求增减）

�?）对准显微镜

。光源（配备� 2 只）� 电源

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 对准系统�?1 寸液晶显示器

�?）电控系绞�/strong>

。汞灯触发电�?350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制柜桋�/span>

�?）气动系绞�/strong>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/strong>

。真空泵一�?/span>

。空压机一�?/span>

。管遒�/span>