技术参�?/span>

。曝光面积：4 英寸

。曝光波长：365nm

。分辨力�?.5��m（胶� 2 ?m 的正胶）

。对准精度：��1��m

。掩模样片整体运动范围：X�?5mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

。样片尺寸：直径��15mm--��100mm，厚� 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)

。曝光方式：定时和定剂量

。照明不均匀性： 5%＇�/span>��100mm 范围（�/span>

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌�/span>

物镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

目镜三对�?0 倍�?6 倍�?0 倌�/span>

。掩模相对于样片运动行程９�/span>

X:��5mm; Y:��5mm; Thelta:��6 �?/span>

。汞灯功率：200W（直流）

。曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（长）x600mm(�? x900mm（高�?6

3．配�?/span>

�?）曝光头

�?00W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。光学系绞�/span>

。冷却风扆�/span>

�?）对准工件台

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，手动

。样片调焦机构，手动

。承片台 3 个（��50mm �?75mm � ?100mm （�/span>

。掩模夹 4 个（2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（�/span>

。掩模抽拉式上下机构

�?）对准显微镜

。光源（配备� 2 只）、电溏�/span>

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD（台湾）

�?1 寸液晶显示器

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?200W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制机箰�/span>

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一�?/span>

。管遒�/span>