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URE-2000/25 型紫外单面光刻机
技术参?/span>
。曝光面积：4 英寸
。曝光波长：365nm
。分辨力?m（胶 2m的正胶）
。对准精度：0.8m
。掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
。样片尺寸：直径15mm--100mm(各种不规则片)，厚 0.1mm--6mm
。曝光方式：定时和定剂量
。照明不均匀性： 3%100mm 范围（/span>
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学倍数 400 倍， 光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
。掩模相对于样片运动行程９/span>
X:5mm; Y:5mm; Thelta:6o
。焦厚：350m（SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行性：3.5 o
。曝光能量密度：>20mW/cm2，照明面温度<35 o
。汞灯功率：350W（直流，进口?3
2．外形尺寸：1200mm（长）x900mm(? x1750mm（高（/span>
3．配?/span>
?）曝光头
。冷光椭球镜
?50W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场?、场 2、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构， 手动
。样片调焦机构，手动
。承片台 3 个（?50mm ?75mm ?100mm（/span>
。掩模夹 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。基片抽拉式上下机构
?）对准显微镜
。光源（配备 2 只）、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 21 英寸液晶显示?/span>
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制箱
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一?/span>
。空压机一?/span>
。管遒/span>
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