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URE-2000S/25S 型双面光刻机
技术参?/span>
。曝光面积：4 英寸（或 6 英寸（/span>
。曝光波长：365nm 40mW/cm?05nm?0-40mW/cm2
。分辨力? m
。正面对准采用双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌/span>
物镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
目镜三对? 倍?0 倍?0 倌/span>
。底面面对准：采用双显微物镜+CCD+采集?计算机合像，物镜轴距范围 10mm-148mm
。对准精度：2.5m（双面，片厚 0.8mm）， 0.6m（单面）
。掩模尺寸： 3 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置（/span>
。样片尺寸：2 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置 ，厚 0.1mm--2mm
。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
。照明不均匀性： 3% 100mm 范围），5% 150 mm 范围（/span>
。掩模相对于样片运动行程：X: 5mm; Y: 5mm; Thelta: 6 ?/span>
。汞灯功率：350W（直流，进口（/span>
?*胶厚?50 m （SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行性：3.5
外形尺寸９/strong>1300mm（长）x1000mm(? x1800mm（高（/span>
配置
?）曝光头（两套）
、/strong>冷光椭球镛/span>
?50 W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镛/span>1、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片调焦机构，气缸自动谂/span>
。承片台? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置（/span>
。掩模夹? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸? 英寸配置（/span>
?）双目双视场对准显微镜（可以选择 CCD 型，目镜和监视器可同时观测）
。光源、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD 光学系统（选配件）26
。XYZ 底面对准工件?/span>
?）底 CCD 对准系统
。光源、电溏/span>
。成像光学系绞/span>
。数据采集卡
。CCD
?）电控系绞/span>
。汞灯触发电?350W 直流汞灯)
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
。计算机系统?1 英寸宽屏液晶显示器）
?）气动系绞/span>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪?/span>
?）其他附仵/span>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一 （音静泵（/span>
。管遒/span>
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