1．技术特�?/span>

。高倍率双目双视场显微镜� 22 英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供 USB 输出；既满足高精度对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储

。采用倒置式照明，更换汞灯更方便，散热和防漏光效果更好

。对准位和曝光位双工位工作，双工位自动切捡�/span>

。采用嵌入式计算�?触摸屏操作，操作更方便，更时尙�/span>

。上下片、版十分方便，自动化程度高，操作简便。对高校教学科研（可靠性好，演示方便）及工�?效率�?尤为适宜

2．技术参�?/span>

。曝光面积：100mm��100mm（可升级� 6 英寸（�/span>

。曝光波长：365nm

。分辨力：≤1 ��m（胶� 1.5 ��m 的正胶）

。对准精度：��0.6 ��m

。显微镜扫描台运动范围：X�?0mm;Y:10mm

。掩模尺寸：2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸

。样片尺寸：直径�� 15mm-- �� 100mm（各种不规则片）厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量

。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功�?0

。照明不均匀性： 3%�?#1060; 100mm 范围（�/span>

。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光�?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倌�/span>

物镜三对�? 倍�?0 倍�?0 倌�/span>

目镜三对�?0 倍�?6 倍�?0 倌�/span>

。曝光对准双工位自动切换

。调平接触压力通过传感器保证重夌�/span>

。数字设定对准间隙和间隙

。具备压印模块接口，也具备接近模块接叢�/span>

。掩模相对于样片运动行程９�/span>

X: �� 5mm; Y: �� 5mm; Thelta: �� 6o

�?*焦厚�?00 ��m（SU8 胶，用户提供检测条件）

。光源平行性：3 o

。曝光能量密度：>25mW/cm2，照明面温度<35 oC

。单层曝光一键完戏�/span>

。采用球气浮+三爪找平

。汞灯功率：350W（直流，进口（�/span>

3．外形尺寸：1400mm（长）x900mm(�? x1500mm（高（�/span>

4．配�?/span>

�?）曝光头

。冷光椭球镜

�?50W 进口直流高压汞灯(德国欧司�?

。XYZ 汞灯调节�?/span>

。冷却风扆�/span>

。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜� 1、准直镜� 2、蝇眼透镜组（79 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2

�?）对准工件台

。光刻机底座

。工位切换台（气缸）

。掩模样片整体运动台

。掩模样片相对运动台

。转动台

。样片调平机构，三点自动完成31

。样片调焦机构，电机自动谂�/span>

。基片抽拉式上下机构

。承片台 4 个：�� 15mm �?#1060; 40mm�?#1060; 60mm�?#1060; 100mm（可按用户要求增减）

。掩模夹 4 个：2.5 英寸�? 英寸�? 英寸�? 英寸（可按用户要求增减）

。样片抽拉式上下机构

�?）对准显微镜

。光源� 电源

。双目双视场对准显微镜主佒�/span>

。目� 3 对（10 倍�?6 倍�?0 倍，� 6 个）

。物� 3 对（4 倍�?0 倍�?0 倍，� 6 个）

。CCD 对准系统�?2 寸液晶显示器

�?）电控系绞�/span>

。汞灯触发电�?350W 直流汞灯)

。单片机控制系统

。控制面松�/span>

。控制柜桋�/span>

�?）气动系绞�/span>

。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等

。电磁阀驱动

。气动仪�?/span>

�?）其他附仵�/span>

。真空泵一�?/span>

。空压机一�?/span>

。配套接口管遒�/span>