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URE-2000B 型紫外单面光刻机
1．技术参?/span>
。曝光面积：100mmX100mm
。曝光波长：365nm
。分辨力?.8m（胶 2m 的正胶）
。对准精度： 0.6m
。掩模样片整体运动范围：X?5mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸
。样片尺寸：直径 15mm-- 100mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm--6mm(可扩展为 15mm)
。曝光方式：定时（倒计时方式）和定剂量
。具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功胼/span>
。照明不均匀性： 2.5%?#177;100mm 范围（/span>
。双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光?*倍数 400 倍，光学+电子放大 800 倍物 3 对：4 倍?0 倍?0 倍； 目镜 3 对：10 倍?6 倍?0 倌/span>
。调平接触压力通过传感器保证重夌/span>
。数字设定对准间隙和曝光间隙
。具备压印模块接口，也具备接近模块接?5
。掩模相对于样片运动行程 X: 5mm; Y: 5mm; Thellta: 6 ?/span>
?*焦厚?00m（SU8 胶，用户提供检测条件）
。光源平行度?.2o
。曝光能量密度：>20mW/cm
。汞灯功率：1000W（直流，进口（/span>
2．外形尺寸：1400mm（长?1200mm(? ?1950mm（高（/span>
3．配?/strong>
?）曝光头
。冷光椭球镜
。XYZ 汞灯调节?/span>
。冷却风扆/span>
?000W 进口直流高压汞灯(德国欧司?
。光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜 1、准直镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜、冷光反射镜 1、反射镜 2
?）对准工件台
。掩模样片整体运动台
。掩模样片相对运动台
。转动台
。样片调平机构，自动完成
。样片自动调焦机枃/span>
。承片台 4 个（?15mm ? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。掩模夹 4 个（2.5 英寸? 英寸? 英寸? 英寸（/span>
。基片抽拉式上下机构
?）对准显微镜 CCD 对准系统
。光源、电溏/span>
。双目双视场对准显微镜主佒/span>
。目 3 对（10 倍?6 倍?0 倍， 6 个）
。物 3 对（4 倍?0 倍?0 倍， 6 个）
。CCD
?1 英寸液晶显示?/span>
?）电控系绞/strong>
。汞灯触发电?1000W 直流汞灯)16
。单片机控制系统
。控制柜桋/span>
?）气动系绞/strong>
。气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
。电磁阀驱动
。气动仪
?）其他附仵/strong>
。真空泵一台（无油泵）
。空压机一台（静音泵）
。管遒/span>
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移动?/p>
工商已核宝/p>
