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KLY-900型离子溅射仪是依据二?DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膜设备、/span>
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作、/span>
特点9/span>
1. 配置有样品溅射室真空表和溅射电流表,用以指示、监控仪器状态;
2. 溅射电流调整控制器、微型真空气阀。在工作时结合内部自动控制电路很容易控制真空室压强、电离电流及任意选择所需要的电离气体,获?*镀膜效果;
3. 特殊设计的钟罩边缘橡胶密封圈,可保证长期使用不会出现影响样品溅射室真空度的玻璃钟罩“崩边”现象;
4. 根据电场中气体电离特性,采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更坆/span>匀纯净、/span>
型号 | KLY-900 |
主机规格 | L360mm*W300mm*H380mm |
靶(上部电极(/span> | 金:直径?0mm,厚度:0.1mm |
真空样品宣/span> | 直径?60mm,高?20mm |
溅射面积 | 50mm |
真空指示?/span> | **真空度: 4X10-2 mbar |
离子电流?/span> | **电流?0mA(100mA) |
定时?/span> | *长时间:3600S |
微型真空气阀 | 可连?#966;3mm软管 |
可通入气体 | 多种 |
**电压 | -1600 DCV |
机械泴/span> | 2L/S |
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