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高真空检漏仪采用高分辨显微镜平台+/span>xy轴微运动集成,以及高分辨电子相机和显示屏,完全契合电镜使用,具有极高的直接压力分辨率和泄漏检测灵敏度,并具有强大的扩展输入和输出、多通道参数设置和选择、大容量记录和存储、通信处理、质量检测、数据传输的功能等等。检测灵敏度高,位置精确,操作便捷、/span>
1)整体尺寸9/span>L*W*H=600*600*1250,柜台高805(单位:mm),以实物为准、/span>
2)压力范围9/span>0-1000mbar、/span>
3)适用电镜样品台:FEI?/span>JEOL?/span>Hitachi(适配(/span>
4)适用原位反应舱芯片:自组装键合一体式芯片,加热芯片,纳流体芯片、/span>
5)极限真空小于等于110-6mBar,原位样品台检漏操作真空度小于等于810-5mBar、/span>
6)接口模块含控制阀门,以在电源关闭时保持真空状态,或在检漏完成,实现检漏模块气体通入,加速样品台取出过程、/span>
7)数字显微系统分辨率优亍/span>1微米,帧率大于等亍/span>30?/span>/秒、/span>
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