红外光晶圆检查显微镜 IR Light Wafer Inspection Microscope

应用９�/strong>

以下两张图片是用红外光显微镜拍摄的、�/p>

在绝缘体上硅(SOI)晶圆片上制作的部分微结构的俯视图、�/p>

红外图像相同的地区经�?0分钟的高频气相腐蚀。掩埋的二氧化硅的蚀刻变得可见，这使得可以确定释放和非释放部刅�/p>

idonus红外显微镜的特点９�/strong>

1、背面红外光溏�/p>

2、顶部光溏�/p>

3、XY移动台ZUI大可检测晶圆尺�?英寸

4、长工作距离物镜

5、三步变�?/p>

6、红外传感器镜头

7、通过计算机查眊�/p>

idonus红外显微镜的应用９�/strong>

1、释放后的MEMS器件的检�?/p>

2、填埋材料的蚀刻速率测试（如SOI晶圆（�/p>

3、融熔接合的检�?/p>

4、硅晶圆/碎片的背面校凅�/p>

5、质量控刵�/p>

idonus红外显微镜的优点９�/p>

1、在较高的填充因子下的可靠的加工更小的MEMS图案

2、顶部和背部光源

3、高分辨率（5倍物镜下分辨率优�? ��m（�/p>

4、更小的印迹

5、操作简单，快速显示结枛�/p>

产品型号：IRM 200-auto可放置晶圆尺寸：200mm�?英寸）以冄�/p>

XY台移动距离：200 X 200 mm

XY台移动方式：通过操纵杆全自动控制

产品型号：IRM 100-man可放置晶圆尺寸：100mm�?英寸）以冄�/p>

XY台移动距离：100 X 100 mm

XY台移动方式：手动

其他参数９�/strong>

光学分辨率：5倍物镜下分辨率优�? ��m

工作距离�?2mm

放大倍数�?.5X � 5X � 10X �?倍物镜下（�/p>

变焦：三步变�?.5X � 1X � 2X

摄像头：黑白，USB接口输出，分辨率140万像紟�/p>

红外光源波长�? ��m

可选配件：2.5X�?0X�?0X物镜�?0mm�?50mm晶圆适配环；图像识别软件