光刻�?参数-价格-中国粉体罐�/title>

<p><span>*</span>联系亹�/p> <input name="CName" type="text" placeholder="请输入您的姓�?/> </div> <div class="fxp_inp"> <p><span>*</span>单位名称</p> <input type="text" name="GuestType" placeholder="请输入您的单位名�?/> </div> <div class="fxp_inp"> <p><span>*</span>电子邮箱</p> <input type="email" name="Email" emailneed="1" placeholder="请输入您的电子邮�?/> </div> <div class="fxp_sj"> <p><span>*</span>手机叶�/p> <input type="text" name="Phone" placeholder="请输入您的手机号"/> </div> </form> </div> <div class="fxp_sub" onclick="return submitMsgFormByID('PopMsgFrom');" >提交</div> <div class="fxp_xieyi">点击提交代表您同� <a href="//www.znpla.com/index/service/registrationagreement.html" target="_blank">《用户服务协议《�/a>叉�a href="//www.znpla.com/index/about/privacy.php" target="_blank">《隐私协议《�/a></div> </div> </div> </div>  <div class="dhxj"> <div class="dhxjbox"> <img src="//www.znpla.com/index/image24/close.png"/ class="dhxj_gb" onClick="close_telpopwin();"> <div class="dhxjbox_top"> <div class="dhxjbox_top_left"> <div id="nowvtel"></div> <p>虚拟号将� <span id="exptime">180</span> 秒后失效</p> </div> <div class="dhxjbox_top_rig"> <div id="telewm"></div> <p>使用微信扫码拨号</p> </div> </div> <div class="dhxjbox_bot"> 为了保证隐私安全，平台已启用虚拟电话，请放心拨打(暂不支持短信) </div> </div> <div class="dhxjbox2"> <span class="dhxj_gb2">×</span> <div class="dhxjbox2_tit">是否已沟通完戏�/div> <div class="dhxjbox2_tit2">您还可以选择留下联系电话，等待商家与您联糺�/div> <form id="TelPopMsgFrom" resultokclosewin="1" action="" method="post" onsubmit="return false;"><input name="FromPID" id="telafterfrompid" type="hidden" value="235631" /> <input type="hidden" name="CID" id="telaftercid" value="29933" /> <input type="hidden" name="leavetype" value="1" /> <div class="dhxjbox2_form"> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>需求描�?/p> <input type="text" name="Content" placeholder="请输入您的需求描�?/> </div> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>单位名称</p> <input type="text" name="GuestType" placeholder="请输入您所在单�?/> </div> <div class="dhxjbox2_form_inp"> <p>联系亹�/p> <input type="text" name="CName" 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.URE-2000/A8紫外<strong>光刻朹�/strong></p><p> 主要产品技术特征及指标９�/p><p> ?曝光面积�?00mmx200mm ;</p><p> ?分辨力：2um ;</p><p> ?对准精度�?um ;</p><p> ?掩模尺寸:5英寸、礫寸�?英寸;</p><p> ?样片尺寸:碟寸、礫寸�?英寸;</p><p> ? wafer chuc棲面：防止光反射涂层;</p><p> ?掩模样片整体运动范围:X : 10mm;Y:10mm ;</p><p> ?掩模相对于样片运动行稊�X: 5mm; Y: 5mm; : 6。；</p><p> ?汞灯功率�?00QW （直流）;</p><p> ?曝光�?密度�? 15mW/cm2 ;</p><p> ?光源能■控制:光源恒功率（每日测嵐光强，微调recipe（参�?56nm波长）；</p><p> ?曝光峰值波�?65 nm ;</p><p> ?曝光方式:定时（倒计时方�?.1s�?999.9s（�</p><p> ?光刻版夹具兼容�?/p><p> ?具有盲曝粗对准功�?</p><table cellspacing="0" cellpadding="2" border="1" bordercolor="#f2f2f2" width="100%"><tbody><tr><td><p>产品型号</p></td><td><p>曝光面积</p></td><td><p>光刻分辨劚�/p></td><td><p>汞灯功率</p></td><td><p>照明不均匀�?/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000B</p></td><td><p>lOOmmXIOOmm</p></td><td><p>0.8 pm （胶�? pm的正胶）</p></td><td><p>1000W13iE （德国欧司朗（�/p><p>刼础</p></td><td><p>2.5%</p><p>（＜D100mm 范围</p><p>（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000/35</p></td><td><p>lOOmmXIOOmm</p></td><td><p>翎力:1 pm （胶�? pm的正胶）</p></td><td><p>350WM� （徳国欧司朗（�/p></td><td><p>3%</p><p>（饥00mm范围</p></td></tr><tr><td><p>URE-2000/35A</p></td><td><p>150mmX150mm</p></td><td><p>1-1.2 pm （胶�?卩m的正胶）</p></td><td><p>350W进口� 髗�/p><p>陵国欧司朗）</p></td><td><p>6%</p><p>�?150mm 范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000/30</p></td><td><p>lOOmmxlOOmm</p><p>(磔寸（�/p></td><td><p>潮力:�? pm （瞄 1.5|jm � IEK（�/p></td><td><p>談麟电源</p></td><td><p>�?5OW1：^CD 3%</p><p>（＜P100mm 范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000/25</p></td><td><p>lOOmmXIOOmm</p></td><td><p>彻力:1.2 pm （胶�? pm的正胶）</p></td><td><p>赦嶙 电源350W 直流，进叢�/p></td><td><p>3%</p><p>（＜P100mm 范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000/17</p><p>（台式）</p></td><td><p>lOOmmXIOOmm</p></td><td><p>彻力:1.5 pm （胶�?呻的正胶（�/p></td><td><p>200瀕口颣�/p><p>（德国欧司朗（�/p></td><td><p>5%</p><p>�?100mm 范围（�/p></td></tr></tbody></table><p>URE?2000系列双面<strong>光刻朹�/strong></p><p>URE-2000S/A8型奴靡�strong>光刻朹�/strong></p><p> 主要产品技术特征及指标:</p><p> ?采用**技术一积木错位蝇眼透镜消衍射技术和线条陡直增强技术，曝光图形质量好，光刻分辩力高.</p><p> ?采用**的CCD囲像底面对准，单曝光头正面曝光实现双面对准功�?</p><p> ?采用新颖的高精度，多自由度掩模一样片精密对准工件台结梅掩模与样片对准过程直观，套刻对准速度快，精度高样片的釆�/p><p> 用推拉茹准平板，真空吸附式，操作方便、�/p><p> ?采用1000W长寿命型汞灯光源，曝光能量高，聚光角度小，光源稳定，持久、�/p><p> ?支持真空接触曝光，硬接触曝光，压力接触曝光，接近式曝光四种曝光功能、�/p><p> ?配备循环水冷却系统，照明面温度恒定、�/p><p> ?具有纳米压印接口功能.</p><p> ?曝光面积:8英寸；对准精度：M��2 nm （双面，片厚0.8mm� /0.8皿（单面�?</p><p> ?掩模尺寸：礫寸�?英寸' 7英寸�?英寸.</p><p> ?光刻分辨劚�1pm.</p><p> ?曝光方式:定时（倒计时方�?.1S-9999.9S任意设定）和定剂�?</p><p> ?**胶厚�?00 pm （SU8胶，用户提供检测条件）?</p><p> ?汞灯功率:1000W （直流，进口直流高压汞灯德国欧司朗）.</p><p> ?照明不均匀性：5% � 0200mm范围�?</p><table cellspacing="0" cellpadding="2" border="1" bordercolor="#f2f2f2" width="100%"><tbody><tr><td><p>产品型号</p></td><td><p>曝光面积</p></td><td><p>光刻分辨劚�/p></td><td><p>汞灯功率</p></td><td><p>照明不均匀�?/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000S/A</p></td><td><p>6詝�/p></td><td><p>1pm</p></td><td><p>looovmnw^Hj^r （德国欧司朗（�/p></td><td><p>2% （OlOOmm 范围（�/p><p>3% （＜P150mm 范围</p></td></tr><tr><td><p>URE-2000S/B</p></td><td><p>篠寸</p></td><td><p>1pm</p></td><td><p>looovmnMMj^r （德国欧司朗（�/p></td><td><p>2% （（plOOmm 范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000S/25A</p></td><td></td><td><p>l|jm</p></td><td><p>350W进口直流高压汞灯 （德国欧司朗（�/p></td><td><p>3% （（PlOOmm 范围（�/p><p>5% �?150 mm范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000S/25B</p></td><td><p>磔寸</p></td><td><p>1pm</p></td><td><p>350W进口直流高压汞灯 （德国欧司朗（�/p></td><td><p>3% （（PlOOmm 范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000S/35L</p><p>（A（�/p></td><td><p>6�?/p></td><td><p>1pm</p></td><td><p>紫外LED进口灯源</p></td><td><p>1.5% （（PlOOmm 范围� 3%</p><p>�?150 mm范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000S/35L</p><p>（B（�/p></td><td><p>僥寸</p></td><td><p>1pm</p></td><td><p>紫外LED进口灯源</p></td><td><p>1.5% �?100mm 范围（�/p></td></tr><tr><td><p>URE-2000S/25S</p></td><td><p>4�?�?/p></td><td><p>1pm</p></td><td><p>350瀕口直流高压汞灯 （德国瞄朗）</p></td><td><p>3% �?100mm 范围（�/p><p>5% （（P150 mm范围（�/p></td></tr></tbody></table><p>投影<strong>光刻朹�/strong></p><p> .TYG-2000S系列投影<strong>光刻朹�/strong></p><p> 主要产品技术特粧及指标９�/p><p> ?软件界面友好、科学、直�?可对当前曝光区域，待曝光区域，曝光参数等信息提供实时的图形化? ?通过逈�/p><p> 配背面对准模块，可实现双面对准曝光，将该机型升级为具有双面对准曝光功能步进投彰�strong>光刻朹�/strong>� ?配置焦面检</p><p> 测自动控制系统，焦面位置设定后，曝光过程中自动实时完成焦面调整、�/p><p> ?采用冷光膜与i线照明系统，曝光波长�?65nm ，曝光面为冷光，曝光图形方、陡、直.</p><p> ?支持真空接触曝光，硬接触曝光，压力接触曝光，接近式曝光四种曝光功�?</p><p> ?采用夸利技�?积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明不均匀优于2%、�/p><p> ?采用先进的离轴对准系统，对准过程自动完成，对各种不同大小的基片，</p><p> （含碎片）对准十分适用.</p><p> ?对准精度�?#177;0.5卩m.</p><p> ?照明均匀性：2%、�/p><p> ?曝光面积�?mmx3 mm ~ 50mmx50mm.</p><p> ?调焦台运动灵敏度�? jim.</p><p> ?掩模尺寸�?英寸�?英寸�?英寸.</p><p> ?调焦台运动行程：5mm.</p><p> ?光刻分辨力：�?3卩m ~ 5 ym.</p><p> ?检焦：CCD检测，检测精�?.5 pm.</p><p> .光源�?50施形汞灯＋�/p><p> ?汞灯功率�?000W （直流，进口直流高圧汞灯德国欧司朗）.</p><table cellspacing="0" cellpadding="2" border="1" bordercolor="#f2f2f2" width="100%"><tbody><tr><td><p>产品型号</p></td><td><p>曝光面积</p></td><td><p>光刻分辨劚�/p></td><td><p>汞灯功率</p></td><td><p>照明不均匀�?/p></td></tr><tr><td><p>TYG-2000/A </p></td><td></td><td><p>0.8pm - 1pm</p></td><td><p>350W</p></td><td><p>2%</p></td></tr><tr><td><p>TYG-2000/T1 </p></td><td><p>0mm x 10mm</p></td><td><p>1pm</p></td><td><p>350W进口直流高压汞灯 (德国欧司�?</p></td><td><p>+2%</p></td></tr><tr><td><p>TYG-2000/T2 </p></td><td><p>20mmx20mm </p></td><td><p>2pm</p></td><td><p>350W进口颤mMT （德国欧司朗（�/p></td><td><p>��2%</p></td></tr><tr><td><p>TYG-2OOO/T3 </p></td><td><p>50mm x 50mm</p></td><td><p>5pm</p></td><td><p>350味晰汞灯 （曝光谱线：i线）</p></td><td><p>��2%</p></td></tr></tbody></table><p>DS-2000系列无掩樠�strong>光刻朹�/strong></p><table cellspacing="0" cellpadding="2" border="1" bordercolor="#f2f2f2" width="100%"><tbody><tr><td><p>产品型号</p></td><td><p>技术特�?/p></td><td><p>技术参�?/p></td></tr><tr><td><p>DS-2000/14G 垊�/p></td><td><p>采用DMD作为数字掩模，像素数</p><p>1024x768�?920x1080� 25601600丈�/p><p>种选配.</p><p>采用缩小投影光刻物镜成像，分辨力 lum0</p><p>采用**技术一一积木错位蝇眼透镜� �?/p><p>均明、�/p><p>采用进口精密光栅、进口电机、进口导 轨�?/p><p>进口丝杠实现精确工件定位和曝� 拼接＋�/p><p>可适应lOOmmlOOmm基片� 采用CCD</p><p>检焦系统实现整场调平、自� 逐场调焦戕�/p><p>自动选场调焦曝光、�/p><p>具备对准功能、�/p></td><td><p>光源�?50W球形汞灯（曝光谱线：i线）或紫 夕�/p><p>LED ;照明不均匀性：2% ;物镜倍率� 7.6倍（戕�/p><p>14倍与选择的DMD像素尺寸� 关）；曝光场靡�/p><p>积：lmmx0.7mm （或 1.9mmxl.8mm ，或</p><p>2.5mmxl.6mm ，与� 择的DMD像素数有关）：�/p><p>光刻分辨力： 1 p m ; 工件台运动范围： X :</p><p>100mm� Y : 100mm ;工件台运动定位精度：0.</p><p>5pm ;� 焦台运动灵敏度：lpm ;对准精度�?�?/p><p>m ;� 焦台运动行程�?mm ;检焦：CCD检测，</p><p>检 测精�?微米；转动台行程�?#177;6。以上；直写</p><p>� 度：40mm2/min ;基片尺寸；外徃� 1mm–�/p><p>100mm ，厚度：0.1mm--5mm、�/p></td></tr><tr><td><p>DS?2000/14K垊�/p></td><td><p>采用DMD作为数字掩模，像素数</p><p>1024x768.</p><p>采用14倍缩小投影光刻物镜成像� 采用丒�/p><p>利技术一一积木错位蝇眼透镜� 现均明、�/p><p>具备对准功能、�/p><p>采用进口精密光栅、进口电机、进口导 轨�?/p><p>进口丝杠实现精确工件定位和曝� 拼接＋�/p><p>可适应lOOmmlOOmm基片� 采用CCD</p><p>检焦系统实现整场调平、自� 逐场调焦戕�/p><p>自动选场调焦曝光、�/p></td><td><p>光源�?50W球形汞灯（曝光谱线：i线）或紫 夕�/p><p>LED ;照明不均匀性：2% ;物镜倍率�?4 倍；曜�/p><p>光场面积：lmmx0.75mm ;光刻分辨 力：1 pm ;</p><p>工件台运动范围：X : 100mm� Y :100mm;工件</p><p>台运动定位精度：0.65� m ;调焦台运动灵敏度９�/p><p>lum ;</p><p>对准精度�?pm ;调焦台运动行程：6mm ; 检焦：</p><p>CCD检测，检测精�?微米；转动台� 程：��6���?/p><p>上；基片尺寸；外径： 1mm�?00mm ，厚度：</p><p>0.1mm--5mm、�/p></td></tr></tbody></table> </div>  <div class="cxd"> <div class="cxd_tit"><span></span>创新炸�/div> <p style=" color: #333; font-size: 14px; margin: 10px 0 0; line-height: 26px;"> 暂无数据� </p> </div>  <div class="xgfa"> <div class="xgfa_tit"> <div> <span></span>相关方案 </div> </div> <div class="xgfa_box" style="display: block;"><div style="padding:10px;">暂无相关方案、�/div> </div> </div> <script> $(function(){ // 切换 $(".xgfa_tit_ul li").hover(function(){ $(".xgfa_tit_ul li").css({"color":"#4F5862","border-bottom-color":"transparent"}); $(this).css({"color":"#1479d7","border-bottom-color":"#1479d7"}); var _index = $(this).index(); $(".xgfa_box").css("display","none"); $(".xgfa_box").eq(_index).css("display","block"); }); }); </script>  <div class="xgzl"> <div class="cxd_tit"><span></span>相关资料</div> <div class="xgzl_box"><div style="padding:10px;">暂无数据、�/div> </div> </div>  <div class="yhpl"> <div class="cxd_tit"><span></span>用户评论</div> <form id="FormComments" action="" method="post" onsubmit="return false"> <input name="SaveProComments" id="SaveProComments" type="hidden" value="yes" /> <input name="ProductID" id="ProductID" type="hidden" value="235631" 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