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英国样本
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Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI?*技术的相干相关算法)干涉原理,可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域
技术参数:
(1) 类型 CCI 干涉(相干相关干涉)
(2) 分辨率: 0.1 A
(3) 测量点数 1?48?76 ( 1024 x 1024 点阵 )
更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人
主要特点9/strong>
?**的相干相关算
?0.01nm分辨
?10-20秒测量时
?RMS重复性:0.03A
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