稀释气质量流量计可控制�?/span>0-10SLM：�/span>

源气质量流量计可控制�?/span>0-100SCCM：�/span>

2路校准口入口咋�/span>1路吹扫口：�/span>

1路稀释气入口＋�/span>3路输出口咋�/span>1路排空口

稀释入口：1路标准；

源气入口９�/span>1路标准，1路吹扫；

稀释流量：0-10SLM＇�/span>0-20SLM可选）：�/span>

源气流量９�/span>0-100SCCM＇�/span>0-2SLM可选）：�/span>

流量精度９�/span>�?%FS：�/span>

流量重复９�/span>�?#177;0.15%FS：�/span>

纾�/span>性：�?#177;0.5%FS：�/span>

响应时间９�/span><1分钟：�/span>

操作：按键，键盘，串口，USB，以太网：�/span>

校准定义９�/span>20个工厂配置流路，每个流路�?*20个线性点：�/span>

校准类型：稀释气，臭氧，GPT：�/span>

仪器特点９�/span>

操作简单，方便：�/span>

温度显示稳定，可靠；

压力可调，面板带压力表；

可方便地放入渗透管、�/span>

性能参数

温度控制：基于微处理器的比例温控系统：�/span>

温度传感器：RTD;

前面板安装：调压器，压力表，温控器，稀释炉入口

特氟龙炉身尺寸：内径3.09cm，长�?2.7cm＋�/span>

温控范围：高于环境温�?/span>2℃到65℃，