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材料的热物理性质以及*终产品的传热优化在工业应用领域变得越来越重要、/p>
经过几十年的发展，闪射法已经成为常用的用于各种固体、粉末和液体热导玆/strong>?strong>热扩散系?/strong>的测量方法、/p>
薄膜热物?/strong>在工业产品中正变得越来越重要，如：相变光盘介质、热电材料、发光二极管（LED ，相变存储器、平板显示器以及各种半导体。在这些工业领域中，特定功能沉积膜生长在基底上以实现器件的特殊功能。由于薄膜的物理性质与块体材料不同，在许多应用中需要专门测定薄膜的参数、/p>
基于已实现的激光闪射技术，LINSEIS TF-LFA 薄膜导热测试?Laserflash for thin films)可以测量80nm—?0m厚度薄膜的热物理性质、/p>
1.瞬态热反射法（后加热前检测（RF））:
由于薄膜材料的物理性质与基体材料显著不同，必需要有相应的技术来克服传统激光闪射法的不足，即瞬态热闪射法、/p>
测量模型与传统激光闪射法相同：检测器和激光器在样品两侧。考虑到红外探测器测试薄膜太慢，因此检测是通过热反射方法完成的。该技术的原理是材料在加热时，表面反射率的变化?终用于推导出热性能。测量反射率随时间的变化，得到的数据代入包含的系数模型里面并快速计算出热性能、/p>
2. 时域热反射法（前加热前检测（FF））:
时域热反射技术是另一种测试薄层或薄膜热性能（热导率，热扩散率）的方法。测量方式的几何构造被称为“前加热前检测（FF）”，因为检测器和激光在样品上的同一侧。该方法可以应用于非透明基板上不适合使用RF技术的薄膜层、/span>
3. 瞬态热反射法（RF）和时域热反射法（FF）相结合:
两种方法可以集成在一个系统中并实现两者优点的结合、/p>
| 温度范围* | RT |
| RT -- 500C | |
| -100C -- 500C | |
| 激光器 | Nd:YAG 激先/td> |
| 脉冲电流 | ?0mJ (软件控制) |
| 脉宽 | 8 ns |
| 激光探夳/td> | HeNe-激光器 (632nm) 2mW |
| 前端热反 | Si-PIN-Photodiode 有效直径: 0.8 mm |
| 直流电压 400MHz 响应时间: 1ns | |
| 后端热反尃/td> | quadrant diode 有效直径: 1.1 mm |
| 直流电压 100MHz 响应时间: 3.5ns | |
| 测量范围 | 0?1 mm2/s -- 1000 mm2/s |
| 样品直径 | 圆形样品 10...20 mm |
| 样品厚度 | 80 nm -- 20 m |
| 样品数量 | 6样品自动进样?/td> |
| 气氛 | 惰性、氧化性、还原?/td> |
| 真空?/td> | 10E-4mbar |
| 电路松/td> | 集成弎/td> |
| 接口 | USB |
*可更换炉佒/p>
*价格范围仅供参考，实际价格与配置等若干因素有关。如有需要，请拨打电话咨询。我们定会将竭尽全力为您制定完善的解决方案、/span>
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