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HPR-80(Quantitative Gas Analyser for Reactive / Corrosive Species)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器，快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物
应用
等离子体/反应性离子蚀刻研
CVD / PVD / MOCVD
半导体晶片加工研
真空、等离子体过
活性物质定量分
HF，HCl，HBr，CFC 研究
主要特点９/strong>
加热的电抛光波纹管，快速偶合连接器
可清除的，带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
高灵敏度 5 ppb 质量数可?500 amu.
进样压力 1 mtorr 至大气压
电容压力计，压力检测可不受分析物影
稳定性好 (24h之上，小于峰?#177;0.5% )
软件 MASsoft 控制
矩阵反演，归一化及单峰参
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移动?/p>
工商已核宝/p>
