看了高级朗缪尔探针(Langmuir Probe)的用户又看亅/p>
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ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是***可靠的朗缪尔探针(Langmuir Probe)
技术参数:
应用
蚀?沉积/ 清洁等离子体
脉冲等离子体操作
离子密度 (Ni & Gi)
电子温度(Te)
电子能量分布(EEDF)
电子密度(Ne)
等离子体电位
Debye 长度,悬浮电
主要特点9/strong>
获得数据速度:每?5次扫描,通过D-O-E-界面可以自动、半自动或手动分
Hiden在被动射频补偿方面处?*地位,在所有的商业化探针中 ESPion
?*的屏蔽阻?4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频
参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(例如,反应室
内腔阳极氧化所? 或噪?例如,供电源引起)
ESPion 是所有商业化探针?快速的脉冲等离子体探针,ESPsoft 包括所
必需的标准脉冲选通电
300?00?15mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀 90探针,组合式
线性-旋转驱动器可
自清洗循环,防止探针尖端污染
经由RS232、RS485、Ethernet LAN ESPsoft软件控制
暂无数据