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XBS三级滤过四极质谱(MBE Deposition Rate Monitoring / Control System)，适于精确皃/span>MBE分析，其他气体分析和科学实验使用、/span>Windows?界面皃/span>MASsoft软件通过RS232?/span>RS485或以太网控制、/span>
离子源控制，用于软离子化和表观电势质谰/span>灵敏度增强用于大质量数的传输，自动质量数范围列表
一级过滤处增加射频，抗污染物能力增弹/span>内置UHV兼容的水冷却?/span>
灵敏度高，检测范围：100%臲/span>5ppb
质量数范围：0~ 510amu长期稳定性：24h以上，峰高变化小亍/span>0.5%)交叉离子源，束接收角同轴的横断面呇/span>352mm束接受孔，也可为特殊使用者配?/span>分子束研究中，检测极限低臲/span>30 ions/s监测生长速率９/span>1? / min，或更低
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