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SIMS 工作竘/span>(SIMS Workstation,/span>a complete SIMS Analysis Facility) ,综吇/span>UHV / SIMS 设备,进行高级的表面分析。可靠的、普遍适用皃/span>SIMS分析工作站、/span>
整合的离子源,便亍/span>RGA咋/span>SNMS
各类型样品的快速转吐/span>
阴、阳离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪
整合的离子枪光栅控制和信号选通,进行深度分析绝缘体研究中的电子流枪用于电荷中咋/span>液氮冷井和真空室烘烤加热?/span>自动皃/span>SIMS 离子光学透镜调谐和质量数列表,使SIMS性能**
Hiden EQS SIMS 分析仪,运行亍/span> MASsoft O/S 之下,检测限臲/span>ppb?/span>
基本的激发源选择9/span>带差式泵皃/span>Hiden IG20 Ion+/span>IFG200 FAB或高性能液态镓?/span>快速样品传递,样品固定,负载锁定的操纵?/span>4 轴:X Y Z UHV 操纵器,?*定位样品加上ESM LabVIEW咋/span>SIMS 成像程序,进衋/span>SIMS元素成像静?/span>SIMS谱图库可?/span>
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