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仪器简今/span>９/span>HALO 201 MBE分子束外延残余气体分析四极质谱仪用于泄漏探测、趋势分析、真空诊断的过程监测和残余气体的精确分析、/span>
该分子束外延特定分析质谱仪由兼容性材料组成，并能在分子束外延环境中长期使用、/span>
主要特点９/span>钼铜布线增加MBE环境下系统的寿命
抗污染离子源护罩
双法拉第/ channelplate电子倍增?/span>
技术规格：质量数范围：1｝/span>300 amu
扫描速度９/span>100amu/s
*小扫描步阶：0.01amu
灵敏度：0.1 ppm｝/span>1ppm
稳定性：24h以上，峰高变化小亍/span>0.5%
*小检测分压：2 x 10-13mbar
**工作压力９/span>1 x 10-4mbar
Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis - RGA (1.35 MB)
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