特点９�/span>

��易于安装

��基于视窗结构皃�/span>软件，很容易操作

��先进的光学设讠�/span>，以确保能发挥出奼�/span>的系统性能

��基于阵列设计皃�/span>探测器系统，以确保快速测野�/span>

��独特皃�/span>光源设计，有着辂�/span>好的光源强度稳定�?/span>

��有四种方法来调整光的强度９�/span>

��通过电源皃�/span>调节旋钮来调节电源输出的大小

��在光输出�?/span>叢�/span>滤光槽内调整滤光片来调整

��调整光束大小

��通过TFProbe软件，在探测器里调整积分时间

���?/span>测量5层的薄膜厚度和折射率

��在毫秒的时间内，可以获得反射率�?/span>传输玆�/span>和吸收光谰�/span>等一些参�?/span>

��能够用于实时戕�/span>在线皃�/span>厚度�?/span>折射玆�/span>测量

��系统配备大量皃�/span>光学常数数据及数据库

��对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA（�/span>测量分析：�/span>

��可升级至MSP（显微分光光度计）系统，SRM成像系统，多通道分析系统＋�/span>大点测量、�/span>

��通过模式和特性结枃�/span>直接测量、�/span>

��提供皃�/span>各种配件可用于特殊结构的测量＋�/span>侊�/span>妁�/span>通过曲线表面进行纵长测量、�/span>

��2D咋�/span>3D皃�/span>图形输出和友好的用户数据管理界面、�/span>

系统配置９�/span>

��型号：SR100R

��採�/span>测器� 2048像素的CCD纾�/span>阵列

��光源：高稳定�?/span>�?/span>长寿呼�/span>皃�/span>卤素�?/span>

��光传送方弎�/span>：光纣�/span>

��台架平台９�/span>特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量＋�/span>200mmx200mm皃�/span>大小

��软件９�/span>TFProbe 2.2版本的软仵�/span>

��通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

��测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率

��电脑硬件要求９�/span>P3以上�?/span>50 MB的以上空闳�/span>

��电源�?10�?40V AC/50-60Hz�?.5A

��保修：一平�/span>的整机及零备件保�?/span>

规格９�/span>

��波长范围９�/span>250nm�?100 nm

��光斑尺寸�?00��m�?mm

��样品尺寸�?00mmx200mm或直徃�/span>丹�/span>200mm

��基板尺寸：zui多可臲�/span>50毫米厙�/span>

��测量厚度范围�?nm�?/span>50��m

��测量时间：zui�?/span>2毫秒

��粽�/span>�?/span>９�/span>优于0.5％（通过使用相同皃�/span>光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较（�/span>

��重复�?/span>误差９�/span>小于1?

应用:

��半导体制造（PR＋�/span>Oxide� Nitride..)

��液晶显示＇�/span>ITO＋�/span>PR＋�/span>Cell gap... ..（�/span>

��医学，生物薄膜及材料领域筈�/span>

��油墨，矿物学，颜料，调色剂等

��医药，中间设夆�/span>

��光学涂层＋�/span>TiO2� SiO2� Ta2O5... ..

��半导体化合物

���?/span>MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膛�/span>

��非晶体，纳米材料和结晶硅