Femto Science 等离子清洗机 表面处理设备 CUTE

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简今�/span>

CUTE系列等离子清洗机来自韩国FemtoScience公司，是一款无损伤的等离子体处理表面处理系统，其独特的设计保证了高度稳定和均匀辉光放电等离子体产生，可应用于微流控、组织工程、石墨烯�?D材料等纳米科学以及微电子领域，适用于诸多材料表面清洁、疏水性增强、层间粘附、刻蚀等操作，标配一路自动气体流量计，可实现对工艺气体的准确控制、�/span>

CUTE系列等离子清洗机，其舱体采用铝合金制作，坚固耐用且抗腐蚀，其舱体自带显示屏，配合显示屏下方的操作按钮，使用简单，方便快捷、�/span>

规格参数

项目	参数
舱体材质	铝合釐�/span>
舱体内部尺寸	140mm x 200mm x 110mm
电源频率	20~100kHz
电源功率	zui�?00W 可自由调芁�/span>
标准气体输入	1 x 气路
额外气体输入	2 x 空管道可供升�?/span>
气体流速控刵�/span>	MFC自动控制
zui大流逞�/span>	100sccm
气体流速控制精�?/span>	满量程的1%
真空泵抽气速率	80L/min
zui小真穹�/span>	1 x 10-3Torr
真空测量范围	大气� ~ 5 x 10-5Torr
显示	彩色触摸屏，图形化控制界靡�/span>
操作员分�?/span>	2级操作人员分�?/span>
程序	可进行半自动控制和全自动编程控制
参数存储	zui�?0组工艺参数储存，每组工艺包含zui�?0个工艺步骣�/span>

功能图解

应用系统

PDMS芯片制作

石墨烯，2D材料表面处理

Bio-MEMS

组织工程

食品科学