KLOE 微流控芯片光刻机/曝光� UV-KUB系列

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简今�/span>

法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验，其研发的UV-KUB系列光刻机是一种基亍�/span>UV LED的曝光机系统，结构紧凑，可以直接放置在实验台上，能够处理zui大直�?英寸的晶圆，兼容硬接触（接触式）或者软接触（接近式）工艺，可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度，可使�?65 nm�?05 nm的光源，不需要预热，也不需要单独的冷却单元。另外，UV-KUB系列先进的设计，保证了光源的准直性和均匀性，其zui小分辨率可达2��m，zui大发散角小于2��

本系统适用于市面上常用的光刻胶，如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列、�/span>

规格参数

项目	UV-KUB 2	UV-KUB 3
zui小分辨率	2 ��m	2 ��m
光源波长	365 nm / 385 nm / 405 nm	365 nm
能量密度	25 mW / cm2 �� 10 %	30 mW / cm2 �� 10 %
热效应zui大升�?/span>	< 1��C	< 1��C
曝光时间	1s~18 hours	1s~18 hours
zui大存储程序数野�/span>	10�?/span>	无限刵�/span>
对准分辨玆�/span>	/	< 3 ��m
外形尺寸	260 x 260 x 260 mm3	480 x 480 x 480 mm3
重量	8.2 kg	55 kg
显示屎�/span>	彩色触摸�?.7 inches	彩色触摸�?5.6 inches

功能图解

UV-KUB 2型光刻机，是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机，其配备了基于LED光源的光学头，使用寿命大大提高，结构小巧，性价比高，非常适合实验室应用、�/span>

UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机，光源�?65nm，其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜，控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能，可以实现预对准，这样，用户再通过操作手柄便能方便的进行对准操作、�/span>

UV-KUB 2

UV-KUB 3

应用系统

微流控芯牆�/span>

MEMS器件