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ETD-800型全自动离子溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膛/span>设备、/span>
适用于电镜实验室的扫描电子显微镜'span>SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作、/span>
主机规格 |
L307mm*W260mm*H260mm |
电源规格 |
220V/50HZ110V60HZ可逈/span> |
靶(上部电极(/span> |
金:直径9span>50mm,厚度:0.1mm |
真空样品宣/span> |
直径9span>160mm,高9/span>120mm |
定时?/span> |
*长时间:3600S |
机械泴/span> |
2L/S |
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